ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  MFC ÄÁÆ®·Ñ·¯·Î ³óµµ ÃøÁ¤Çϱâ Áú¹® µå¸³´Ï´Ù.
  ±Û¾´ÀÌ : °¡½º¸°ÀÌ   °íÀ¯ID : leesh7566     ³¯Â¥ : 21-09-06 10:43     Á¶È¸ : 5117    
¾È³çÇϼ¼¿ä. À̹ø¿¡ ´ëÇпø¿¡¼­ ¼ö¼Ò°¡½º¼¾¼­¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇÏ´Â ÇлýÀÔ´Ï´Ù.
ÇöÀç ÀúÈñ ¿¬±¸½Ç¿¡ ÀÖ´Â Àåºñ´Â N2 100 SCCM, °ú H2 100 SCCM MFCÄÁÆ®·Ñ·¯°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼ö¼ÒÀÇ ³óµµ(PPM)À» ÃøÁ¤ÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
( N2 ºÐÀ§±â¿¡¼­ H2ÀÇ ³óµµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÔ´Ï´Ù.)
´Ù¸¥ °Ô½Ã±ÛÀÇ ½ÄÀ¸·Î´Â [(H2 SCCM)./ (N2 + H2) SCCM] * 1,000,000 ppm À̾ú½À´Ï´Ù.
Ȥ½Ã ÀÌ¿Í°°Àº½ÄÀÌ ¸Â´Ù¸é ¾î¶°ÇÑ ¿ø¸®·Î ¸Â´ÂÁö ¾Ë ¼ö ÀÖÀ»±î ¿©·¯ºÐµé²² ¿©Â޾´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ Á¦°¡ °¡Áö°í ÀÖ´Â Àåºñ·Î 10 ppm°°Àº Àú³óµµµµ °ËÃâ ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁöµµ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù. (À§ °è»ê½Ä¸¸À¸·Î´Â Èûµé´Ù°í »ý°¢ÀºÇÕ´Ï´Ù)
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.

½ºÅ×Æijë Stefano   21-09-07 18:50
(1) °¢ °¡½ºÀÇ Ç¥ÁØ»óÅ ºÎÇÇÀ¯·®À» ¾Ë¸é À̵éÀ» È¥ÇÕÇßÀ» ¶§ÀÇ °¢ ¼ººÐ ³óµµ´Â ºÎÇÇ ºÐÀ²¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù.  ÀÌ´Â ±âüÀÇ ¸ôºñÀ²Àº ºÎÇǺñÀ²°ú °°´Ù´Â ÀÌ»ó±âü ¹ýÄ¢¿¡ µû¸¥ °ÍÀÔ´Ï´Ù. 

Vi/(V1+V2+V3,...) = mi/(m1+m2+m3+..) = i ¼ººÐ ºÎÇǺÐÀ² = i ¼ººÐ ¸ôºÐÀ² ...(1)

(2) °¡½ººÐ¼®±âÀÇ ºÐ¸®°ËÃâ ¼º´ÉÀÌ ÁÁ´Ù¸é ppm ȤÀº ppb ¼öÁØÀÇ ³óµµµµ °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.  ºÐ¸® Column ¼º´É¿¡ °ü·ÃµÈ »çÇ×ÀÔ´Ï´Ù.
     
°¡½º¸°ÀÌ leesh7566   21-09-08 12:07
´äº¯ Á¤¸» °¨»çÇÕ´Ï´Ù. Á¦°¡ ÀÌÇØÇÑ °ÍÀÌ ¸Â´ÂÁö ¿©ÂÞ¾î º¸°í ½Í½À´Ï´Ù.

N2¿Í H2 ¸ðµÎ Ultra high purity °¡½º¸¦ ¾²¸é¼­ è¹ö¾È¿¡ N2 100SCCM, H2 1SCCMÀ» Èê·ÁÁÖ¸é

(1/100+1)* 1,000,000 À» ÇØÁÖ¸é N2¿¡ ´ëÇÑ H2ÀÇ ³óµµ°¡ ´ë·« 9900 ppmÀÌ µÇ´ÂÁö ¿©Â޾°í½Í½À´Ï´Ù.

´Ù½Ã ÇÑ ¹ø ´äº¯ °¨»çµå¸³´Ï´Ù.
Stefano    21-09-08 20:11
¸Â½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª À¯È¿¼ýÀÚ¸¦ °í·ÁÇØ º¸¸é...
¼ö¼Ò ¸ôºÐÀ²(mole fraction=1/101=0.009 900 990..) ¿¡ 1,000,000À» °öÇϸé 9,900.990ÀÌ µÇ´Âµ¥ ¼Ò¼ýÁ¡ÀÌÇÏ¿¡¼­ ¹Ý¿Ã¸²ÇÏ¿© ³ªÅ¸³»¸é 9,901 mppm (or vppm, ppmv)°¡ ¸Â½À´Ï´Ù.
     
°¡½º¸°ÀÌ leesh7566   21-09-08 21:47
Á¤¸» Àß ÀÌÇØ°¡ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.. °á±¹ ½ÃÁß¿¡ ³ª¿ÍÀÖ´Â MFC¸¸À¸·Î´Â Àú³óµµÀÇ ¼ö¼ÒºÐÀ§±â¸¦ ¸¸µå´Â°ÍÀº ¸Å¿ì¾î·Æ±º¿ä.

Çϳª¸¸ ´õ ¿©ÂÞ¾î º¸°Ú½À´Ï´Ù.

½ºÅ×Æijë´Ô²²¼­ Á¦°¡ °è»êÇÑ °á°ú°ªÀÌ 9901ppmv°¡ µÈ´Ù°í ¸»¾¸Çϼ̴µ¥

ÀÌ°ÍÀ» ºÎÇÇ·Î Çؼ®ÇÏÀÚ°í Çϸé (1%=10,000PPM)

N2¶ó´Â °¡½º¾È¿¡ H2°¡½º°¡ 0.9901%°¡ µé¾îÀÖ´Ù ¶ó°í »ý°¢ÇÒ ¼öµµ Àִ°ǰ¡¿ä?

¸îÁÖµ¿¾È Àß ÀÌÇØ°¡ ¾ÈµÇ¾ú´Âµ¥ ³Ê¹«³ª °¨»çÇÏ´Ù´Â ¸»¾¸ µå¸³´Ï´Ù.
½ºÅ×Æijë Stefano   21-09-08 23:02
(1) ¸Â½À´Ï´Ù. ¼ö¼ÒÀÇ ºñÀ²Àº 0.009 900 990 099..  À̹ǷΠ¿©±â¿¡ 100%¸¦ °öÇϸé 0.9901%°¡ µÇ´Â °ÍÀÌÁö¿ä.  ºñÀ²´ë½Å %³ª ppm µîÀÇ ´ÜÀ§¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â ¼Ò¼ýÁ¡ ÀÌÇÏ·Î ³ªÅ¸³»¸é ºÒÆíÇϱ⠶§¹®¿¡ ±×¸®ÇÏ´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù. 

(2) ºñÀ²Àº <Àüü¸¦ 1·Îº¸°í ±×¼Ó¿¡ µé¾îÀÖ´Â ¼ººÐÀÇ ¾çÀ» ¼Ò¼ýÁ¡À¸·Î ³ªÅ¸³½ °Í>ÀÌ°í
%´Â  <Àüü¸¦ 100%·Î º¸°í ±×¼ÓÀÇ ¼ººÐÀÇ ¾çÀ»  %´ÜÀ§·Î ³ªÅ¸³½ °Í>À̸ç
ppmÀº <Àüü¸¦ 1,000,000 ppmÀ¸·Î ±×¼ÓÀÇ ¼ººÐÀÇ ¾çÀ» ppm´ÜÀ§·Î ³ªÅ¸³½ °Í>À̾

1 = 100% = 1,000,000 ppmÀÇ °ü°è°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.  (¡Å 1%=10,000 ppm),  ¾î´À ¼ýÀÚ¿¡ 1À» °öÇصµ Àý´ë°ªÀº º¯ÇÏÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ¼Ò¼ö·Î ³ªÅ¸³½ ¼ýÀÚ¿¡ 100%, 1,000,000 ppmÀ» °öÇØÁÖ´õ¶óµµ ³ªÅ¸³»´Â ´ÜÀ§´Â ´Ù¸£Áö¸¸ Àý´ë°ªÀº ´Þ¶óÁöÁö ¾ÊÁö¿ä. 

(3) ±× ¹Û¿¡µµ ºñÀ²À» ³ªÅ¸³»´Â ´ÜÀ§¿¡´Â ÇÒ(ùÜ), Ǭ(ÝÂ), ¸®(×Ø), per mill, µîÀÌ ÀÖ°í  deci- centi- mili.. micro, µîÀÇ Á¢µÎ¾î¸¦ »ç¿ëÇϱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù.  ¹Ý´ë·Î ¼ýÀÚ°¡ 1À» ³Ñ¾î ¼ö½Ê, ¼ö¹é, ¼öõ µîÀ¸·Î Ä¿Áö´Â °æ¿ì Á¢µÎ¾î·Î deca- hecto- mega-, giga-, tera- µîÀÇ ´ÜÀ§¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ³ªÅ¸³À´Ï´Ù.  Áö¼ö·Î Ç¥ÇöÇϸé (10^x)·Î ³ªÅ¸³»°í x°¡ À½¼ö¸é 1º¸´Ù ÀÛÀº °ª  ¾ç¼ö¸é 1º¸´Ù Å«°ªÀÌ µÇÀݾƿä.
°¡½º¸°ÀÌ leesh7566   21-09-09 13:10
°¨»çÇÕ´Ï´Ù. ppmÀ̶ó´Â ´ÜÀ§¿¡ ´ëÇØ ³Ê¹«³ª Àß ÀÌÇØ°¡ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

Çϳª¸¸ ´õ ¿©ÂÞ¾î º¸°Ú½À´Ï´Ù...

STP»óÅ¿¡¼­ °¡·Î/¼¼·Î/³ôÀÌ°¡ 10cmÀÎ °ø°£¿¡  Áú¼Ò´Â 50sccm¾¿ 5ºÐµ¿¾È, ¼ö¼Ò´Â 1sccm¾¿ 5ºÐµ¿¾È ³Ö°í °¡½º°¡ ¿ÜºÎ·Î ´©ÃâÀÌ ¾ÈµÇµµ·Ï ¹®À» ´Ý¾Ò½À´Ï´Ù.

±×·³ ÀÌ °ø°£¿¡ Áú¼Ò´Â ÃÑ 250cc°¡ µé¾î°¡ÀÖ°í, ¼ö¼Ò´Â 5scc°¡ µé¾î°¡ÀÖ´Ù°í Çؼ®À» ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÀÌ »óÅ¿¡¼­ Áú¼Ò¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¼ÒÀÇ ³óµµ´Â ´Ü¼øÈ÷ ºñÀ²(cc·Î ³ª´©¾îÁÖ±â) ·Î ±¸ÇØ¾ß Çϳª¿ä?

¾Æ´Ï¸é Áú¼Ò±âü¿Í ¼ö¼Ò±âü¿¡ ´ëÇÑ ¸ôÁú·®°ú ÀÌ»ó±âü»óŹæÁ¤½ÄÀ» Àû¿ëÇÏ¿© °è»êÀ» ÇؾßÇϳª¿ä?

´äº¯ Á¤¸» °¨»çÇÕ´Ï´Ù.. Á¤¸» ÀÌÇØ°¡ ÀߵǰíÀÖ½À´Ï´Ù.¤Ð¤Ð
Stefano    21-09-10 14:06
(1) Áú¼Ò³ª ¼ö¼Ò ÅõÀÔÀü 10x10x10=10^3 cm3 = 1000 ml = 1LÀÇ ¿ë±â¿¡ ¾Æ¹«°Íµµ µé¾îÀÖÁö ¾ÊÀº »óÅ¿¡¼­ Áú¼Ò³ª ¼ö¼Ò¸¦ ³Ö¾îÁÖ¾î¾ß ±× ³óµµ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

ÅõÀÔÀü ´ë±â¾Ð »óÅ¿¡¼­ °ø±â°¡ µé¾îÀÖ¾ú´Ù¸é Áú¼Ò¿Í »ê¼Ò¹× ´Ù¸¥ CO2, Ar, µîÀÇ ¾çµµ °í·ÁµÇ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù. Áú¹®ÀÇ °æ¿ì¿¡´Â ¿ÏÀü Áø°ø»óÅ·ΠÀ¯ÁöµÇ°í ÀÖ´ø ¿ë±â¿¡ ÅõÀÔÇÑ´Ù°í °¡Á¤ÇØ º¾´Ï´Ù.

Áú¼Ò 250 scc, ¼ö¼Ò 5 scc °¡ µé¾î°¡ ÀÖÀ¸¹Ç·Î ÀüüÀÇ ºÎÇÇ´Â 255 scc°¡ µÇ¹Ç·Î  ÀüüȥÇÕ¹°Áß  Áú¼ÒÀÇ ºÎºñºÐÀ² = 250/255,  ¼ö¼ÒÀÇ ºÐÀ² = 5/255 °¡ µÇ¸ç ÀÌ ºñÀ²ÀÌ ¹Ù·Î ºÎÇǺÐÀ² (ȤÀº ¸ôºÐÀ²)·Î ³ªÅ¸³½ ³óµµ°¡ µË´Ï´Ù.

%·Î ³ªÅ¸³½ Áú¼Ò , ¼ö¼Ò °¢°¢ÀÇ ³óµµ´Â 98.039 v% (¶Ç´Â m%), 1.961 v%(¶Ç´Â m%),  ppmÀ¸·Î °¢°¢ ³ªÅ¸³»¸é  980,390 vppm N2, 19,610 vppm H2°¡ µÇ´Âµ¥ ÀÌ °æ¿ì¿¡´Â %³óµµ°¡ Æí¸®ÇÏÁö ppm ³óµµ´Â ¹«Ã´ ºÒÆíÇÕ´Ï´Ù.

(2) ³óµµ´Â ±»ÀÌ Áú¼Ò¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¼Ò³óµµ·Î ³ªÅ¸³¾ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.  ±×·¯³ª  ¸¸ÀÏ  ¿ë±â³» Áú¼Ò:¼ö¼ÒÀÇ ºñÀ²À» ¾Ë°í½ÍÀº °æ¿ì ¿ë±â³» °¢ ±âüÀÇ ¾çÀ¸·ÎºÎÅÍ °è»êÇØ º¸¸é µË´Ï´Ù. 

2¹ø° Ãß°¡ Áú¹®¿¡¼­ <N2¶ó´Â °¡½º¾È¿¡ H2°¡½º°¡ 0.9901%°¡ µé¾îÀÖ´Ù ¶ó°í ÇÒ¼ö Àִ°¡?>¸¦ ¹®ÀÇÇϼ̴µ¥  ÀÌ·± ¹æ¹ýÀ¸·Î ³óµµ¸¦ ³ªÅ¸³»¸é °£´ÜÇØ º¸ÀÌ´Â °Í °°Áö¸¸ ¾ÆÁÖ ¾ÆÁÖ ¾Ö¸ÅÇÑ ¸»ÀÌ µË´Ï´Ù.  µû¶ó¼­ ÀÌ·±½ÄÀÇ ¿ë¾î´Â »ç¿ëÇϸé Àý´ë·Î ¾ÈµË´Ï´Ù. 

N2°¡½º¶ó¸é ¼ö¼Ò°¡ ¾øÀÌ N2¸¸ µé¾îÀÖ´Â °¡½ºÀε¥ ¿©±â¿¡ H2°¡ µé¾îÀÖÀ» ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î N2°¡ °¡½ºÀüü¸¦ ³ªÅ¸³¾ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.  µû¶ó¼­  <N2-H2 È¥ÇÕ°¡½ºÁß ¼ö¼ÒÀÇ ÇÔ·®ÀÌ ¾ó¸¶Àΰ¡?>·Î  ³ªÅ¸³»¾ß È¥µ¿½º·´Áö ¾Ê½À´Ï´Ù. 

°¡½ºÀÇ ºñÀ²·á ³ªÅ¸³¾ ¶§´Â ´Ù¸¥ Ưº°ÇÑ ¹¬ÀûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.  ºñÀ²·Î ³ªÅ¸³¾ °æ¿ì,
Áú¼Ò: ¼ö¼ÒÀÇ ºñ = 250 : 5 = 50:1  ÀÌ µÇ°í  Áú¼Ò 1 cc (ȤÀº 1 mol)´ç ¼ö¼ÒÀÇ ¾çÀ¸·Î ³ªÅ¸³»¸é  5/250 = 1/50 = 0.02 
ÀÌ ¶§ ¾ò¾îÁö´Â ¼ýÀÚ 0.02ÀÇ ´ÜÀ§´Â  0.02  cc H2/ cc N2  (ȤÀº 0.02 mole H2/mole N2)·Î ³ªÅ¸³½ °¡½ºÀÇ ÇÔ·® ȤÀº ³óµµºñ¸¦ ³ªÅ¸³»¸ç À̸¦ "³óµµ"·Î ÀÌÇØÇÏ´Â °ÍÀº À߸øµÈ ÀÏÀÔ´Ï´Ù.

* °¢°¢ÀÇ ³óµµ:  H2³óµµ = 1.961 v%,  N2 ³óµµ = 98.039 v%
* ¼ö¼Ò/Áú¼Ò ³óµµÀÇ ºñ = 1.961/98.039 = (5/255)/(250/255)= 5/250 = 1/50 = 0.02  v H2/v N2 = 0.02 v/v  H2/N2 = 0.02 m/m H2/N2    µû¶ó¼­ <¼ö¼Ò³óµµ>¸¦ <¼ö¼Ò/Áú¼ÒÀÇ ºñÀ²>·Î ³ªÅ¸³»¸é ¾ÈµË´Ï´Ù. ÀüÇô ´Ù¸¥ ÀǹÌÀÇ ´Ù¸¥ ¼öÄ¡°ªÀÌ µÇ±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. 

À§¿Í °°ÀÌ ³óµµ´Â ÀüüÁß Çش缺ºÐÀÇ ¾çÀ» °è»êÇÏ¸é µË´Ï´Ù.  ³óµµºñ (ȤÀº ¼ººÐºñ)´Â  °¢  ³óµµÀÇ »ó´ëÀû ºñÀ²À̹ǷΠ³óµµ¿Í´Â ÀüÇô ´Ù¸¥ °³³äÀÔ´Ï´Ù.  È­°ø°è»ê½Ã ³óµµºñ´Â ´Ù¸¥ ¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇÒ °æ¿ì¿¡ °¡²û »ç¿ëµÇÁö¸¸ ´ëºÎºÐ ³óµµ¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. 

(3) ±âüÀÇ ³óµµ¸¦ °è»êÇÒ °æ¿ì °°Àº ¿Âµµ¾Ð·Â »óÅÂÀÇ ºÎÇÇ·Î °è»êÇصµ µÇ°í  ¸ô´ÜÀ§·Î °è»êÇصµ µË´Ï´Ù.  ±»ÀÌ ÀÌ»ó±âü¹æÁ¤½ÄÀ» µµÀÔÇؼ­ ³óµµ¸¦ °è»êÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µË´Ï´Ù.    ±×·¯³ª ºÎÇÇ·Î ³ªÅ¸³¾ ¶§´Â ¿Âµµ¾Ð·ÂÀÌ ´Ù¸¥°æ¿ì ÀÌ»ó±âü ¹æÁ¤½ÄÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© °°Àº »óÅÂÀÇ ºÎÇǷΠȯ»êÇϰųª ¸ô¼ö¸¦ °¢°¢ °è»êÇؼ­ ÀüüÀÇ ¾çÀ» ±¸ÇÑ ´ÙÀ½ °¢ ¼ººÐÀÇ ¾çÀ» ³óµµ·Î ³ªÅ¸³»¸é µË´Ï´Ù,

Áú¹®¿¡¼­´Â Áú¼Ò¿Í ¼ö¼Ò ¸ðµÎ Standard State ºÎÇÇ (Scc)·Î ³ªÅ¸³Â±â ¶§¹®¿¡ ´Þ¸® ȯ»êÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µË´Ï´Ù.

(4) Âü°í·Î
 (¾Ð·Â°ú ¿Âµµ°¡ ¾ÆÁÖ ³ôÁö ¾ÊÀ¸¸é ´ëºÎºÐ ÀÌ»ó±âü·Î °¡Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î) ÀÌ»ó±âü¶ó°í °¡Á¤ÇÑ´Ù¸é  ¸ðµç ÀÌ»ó±âüÀÇ Ç¥ÁØ»óÅ ºÎÇÇ´Â 1 g-moleÀÇ ºÎÇÇ°¡ 22.414 L (=22,414 scc / g-mole)À̹ǷΠÁú¼Ò¿Í ¼ö¼Ò °¢°¢ÀÇ ¸ô¼ö¸¦ ±¸Çغ¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

Áú¼ÒÀÇ ¸ô¼ö = 250 scc N2/(22.414 scc/g-mole) = 0.0111537 g-mole N2 
==>¿©±â¿¡ Áú¼ÒÀÇ ºÐÀÚ·®À» °öÇÏ¸é ¹«°Ô°¡ °è»êµË´Ï´Ù.    0.0111537 g-mole N2 * (ºÐÀÚ·® 28.0134 g N2/g-mole N2) = 0.31245 g N2

¸¶Âù°¡Áö·Î ¼ö¼ÒÀÇ Áú·®À» ±¸Çغ¸¼¼¿ä.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)