¾È³çÇϼ¼¿ä. À̹ø¿¡ ´ëÇпø¿¡¼ ¼ö¼Ò°¡½º¼¾¼¸¦ ¸¸µé±â À§ÇØ ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇÏ´Â ÇлýÀÔ´Ï´Ù.
ÇöÀç ÀúÈñ ¿¬±¸½Ç¿¡ ÀÖ´Â Àåºñ´Â N2 100 SCCM, °ú H2 100 SCCM MFCÄÁÆ®·Ñ·¯°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌ Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼ö¼ÒÀÇ ³óµµ(PPM)À» ÃøÁ¤ÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
( N2 ºÐÀ§±â¿¡¼ H2ÀÇ ³óµµ¸¦ Á¶ÀýÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÔ´Ï´Ù.)
´Ù¸¥ °Ô½Ã±ÛÀÇ ½ÄÀ¸·Î´Â [(H2 SCCM)./ (N2 + H2) SCCM] * 1,000,000 ppm À̾ú½À´Ï´Ù.
Ȥ½Ã ÀÌ¿Í°°Àº½ÄÀÌ ¸Â´Ù¸é ¾î¶°ÇÑ ¿ø¸®·Î ¸Â´ÂÁö ¾Ë ¼ö ÀÖÀ»±î ¿©·¯ºÐµé²² ¿©Â޾´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ Á¦°¡ °¡Áö°í ÀÖ´Â Àåºñ·Î 10 ppm°°Àº Àú³óµµµµ °ËÃâ ÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁöµµ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù. (À§ °è»ê½Ä¸¸À¸·Î´Â Èûµé´Ù°í »ý°¢ÀºÇÕ´Ï´Ù)
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.