¼¾¼ Å×½ºÆ®Áß¿¡ ÀÌ ¼¾¼¿¡ ÁÖÀԵǴ ¼ö¼ÒÀÇ ³óµµ°¡ ¸î ppm Àΰ¡ ±â·ÏÇØ¾ß Çϴµ¥ ³óµµ°è»ê½ÄÀÌ ½¬¿îµí Çò°¥¸®³×¿ä
ÁÖÀÔ°¡½º´Â
¼ö¼Ò 2%(¼ö¼Ò2%+Áú¼Ò98%)È¥ÇÕ°¡½º 50 SCCM °ú Áú¼Ò °¡½º 100%(99.9%) 400 SCCM À» MFC Àåºñ·Î È¥ÇÕÇÏ¿© Èê·Áº¸³»°í ÀÖ½À´Ï´Ù. À̶§ MFC Àåºñ¿¡¼ ³ª¿À´Â ¼ö¼Ò°¡½ºÀÇ ³óµµ°¡ ¸î PPMÀÎÁö °è»ê½ÄÀÌ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
¼ö¼Ò 1%ÀÇ ³óµµ°¡ 10,000PPM À̶ó°í STUDY °Ô½ÃÆÇÀ» ÅëÇØ È®ÀÎÇÒ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
Á¦°¡ ´Ù¸¥ºÐÀ» ÅëÇØ ¹è¿î °è»ê½ÄÀº
50/(50+400)=0.1111% -> 0.1111 * 10,000PPM = 1111PPM ÀÌ µÈ´Ù°í Çϴµ¥
¹®Á¦´Â À̺ÐÀÌ ¼ö¼Ò 2% °¡½º¸¦ È¥ÇÕÇϰųª ¼ö¼Ò 4%¸¦ È¥ÇÕÇϰųª µ¿ÀÏÇÏ°Ô °è»êµÈ´Ù°í Çϴµ¥ Á¦°¡ »ý°¢ÇÒ¶§´Â ¼ö¼Ò%³óµµ°¡ ´Ù¸¥µ¥ PPM °ªÀÌ °°À»¼ö°¡ ¾øÀ»°Å °°¾Æ¼ ÀÌ·¸°Ô ¹®ÀÇ µå¸³´Ï´Ù.
Áö½Ä ³ª´® ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.