안녕하세요.

해당 사이트에서 많은 실무 도움을 받고있는 현장 엔지니어입니다.

현재 DIW(DeIonized Water)+산 or 알칼리 화합물을 사용하고 있는 시설에서, Filter(원통형) 의 중성화(pH 7)를 위한 평가를 진행하고있습니다.

평가 배경은, 별도의 "산/ 알칼리 중화제의 사용없이, DIW와, N2 만을 사용하여 산/알칼리 화합물에 Wetting 되어있는 Filter를 DIW로 치환" 입니다만, 중성화에대한 기준 수립이 어려워 자문요청드립니다.

1. 현재 시설에는 pH Meter(전극봉(가 설치되어 있는대, 초순수의 경우 Conductivity 1us/cm이하인 pH 측정 불가 영역이 존재하여, pH Data를 신뢰할 수 없다는 기술 논문을 확인하였습니다.. pH Meter로는 DIW의 측정과 중성화 (DIW 치환) 의 판단이 불가능할까요?

2. pH로 측정이 불가능하다면, Conductivity (전기전도도)를 기준으로, [0us/cm = pH 7 = 중성] or [비저항 18.2㏁.cm = pH]은 만족 되는조건일까요?

될줄알앗는대.. 생각했던 변화와 측정은 이루어지지않아, 막막합니다. 도움주시면 감사하겠습니다.