게시판 > 질답게시판 > 반도체 공정 GAS의 발열량 계산

스테파노 Stefano

07-04-30 20:23

(1) 반응식을 완성해 두고 반응물과 생성물의 생성열로부터 계산합니다. 그런데 인용한 화학 반응식은 등식이 성립하지 않습니다. Si와 F가 우측에 보이지 않고 좌변과 우변의 원자수효도 서로 다릅니다. 우선 화학반응식을 먼저 돌봐주세요.

(2) 발열량의 계산

발열량의 계산은 생성물 전체의 생성열로부터 반응물 전체의 생성열을 빼줌으로써 계산됩니다. 수식으로 쓰자면...

(발열량) = (생성물 전체의 생성열) - (반응물 전체의 생성열)
(ΔH)reaction =Σ {(ΔHf)product i * (N)product i} - Σ {(ΔHf)reactant j * (N)reactant j}

(ΔHf)는 Heat of Formation이고 핸드북에서 찾아볼 수 있습니다 .

(3) O2와 같은 분자상태의 원소의 생성열은 0이라고 간주합니다.

(3) 연소열로부터의 계산 방법
반응물과 생성물의 연소열을 모두 알고 있다면 이로부터 발열량을 계산할 수 있습니다.
이는

(발열량) = (반응물 전체의 연소열) - (생성물 전체의 연소열)
(ΔH)reaction =Σ {(ΔHc)reactant i * (N)reactant i} - Σ {(ΔHc)reactant j * (N)product j}

(ΔHc)는 Heat of Combustion입니다. 연소열은 연소하여 물과 산화물이 생성될때의 엔탈피 변화입니다.

고도리 kohc7

07-05-07 09:50

감사합니다. 위의 SiF4에 관한 화학식은 오타가 난거 같습니다. 많은 도움이 되었습니다.