¾È³çÇϽʴϱî
´Ã À¯ÀÍÇÑ ´äº¯ °¨»çµå¸³´Ï´Ù.
´ÙÀ½Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â SiH4°¡½º¸¦ ¿¬¼ÒÇϴµ¥ ÀÖ¾î¼ ¹ÝÀÀè¹öÀÇ Ã¼ÀûÀ» ±¸ÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
±¸Ã¼ÀûÀÎ °è»êÀ» Çϴ°ÍÀ» °øºÎ ÇÏ°í½Í½À´Ï´Ù.
¿¹¸¦ µé¾î
SiH4 gas 5LPMÀ» SiH4+2O2------SiO2+2H2O¿Í °°ÀÌ ¿¬¼Ò ¹ÝÀÀ ½ÃÅ°·ÁÇÕ´Ï´Ù. À̶§ è¹ö ³»ºÎ¿Âµµ¸¦ ¾à800¡É·Î °¡¿ÇÏ°í ´ë±â¾Ð»óź¸´Ù Á¶±Ý ³·Àº ¾Ð·Â756torr¿¡¼ÀÇ À§ÀÇ °¡½º¸¦ ¹ÝÀÀ¿¬¼Ò½Ãų½Ã üÀû(m3)ÀÌ ¾ó¸¶³ª ÆØâÇÏ´ÂÁö ¾Ë°í½Í½À´Ï´Ù.
º¸Åë À§ÀÇ °¡½º´Â ´ë±â »óÅ¿¡µµ ¹Ù·Î »ê¼Ò¿Í ¹ÝÀÀÇÕ´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ Ÿ °¡½º¿Í È¥ÇյǾî è¹ö·Î À¯ÀԵDZ⠶§¹®¿¡ è¹ö ¿Âµµ¸¦ 800µµ±îÁö »ó½ÂÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.