|
|
|
ÄÁÅÙÃ÷ | contents |
|
|
½ºÅ͵ð | study |
|
|
|
|
|
|
Source Tank ¸éÀû ±¸ÇÏ´Â ¹æ¹ý |
|
|
±Û¾´ÀÌ : Ȳ¼º·æ °íÀ¯ID : Ȳ¼º·æ
³¯Â¥ : 39-06-02 00:00
Á¶È¸ : 10419
|
|
|
¾È³çÇϼ¼¿ä! Àåºñȸ»ç(CVD)¿¡ ±Ù¹«Çϴ Ȳ¼º·æÀÔ´Ï´Ù.
À̹ø¿¡ MOCVD¿¡ »ç¿ëÇÒ ÀûÀýÇÑ Source TankÀÇ Å©±â¸¦ ¼±Á¤ÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
DEZ(diethylzinc)¶ó´Â Liquid Source(²ú´ÂÁ¡:117¡É)¸¦ Tank¿¡ ´ã¾Æ »ç¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
Source Tank´Â 80¡ÉÇ׿ÂÀ¸·Î ControlµÇ°í
À̶§ DEZÀÇ Vapor Pressure´Â 200TorrÁ¤µµ µË´Ï´Ù.
¼ø¼öÇÏ°Ô Áõ±â¾Ð¸¸À¸·Î DEZ Vapor¸¦ »Ì¾Æ¼ ¾´´Ù°í ÇÒ ¶§(´Ü¼øÈ÷ Áõ¹ßµÈ Source¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù°í º¸¸é µÊ) ¿¬¼ÓÀ¸·Î 4.46E-2 mol/min ÀÌ»ó »ÌÀ» ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.
¾çÀ¸·Î¸¸ µûÁö¸é Áö±ØÈ÷ ÀÛÀº ¾çÀÌÁö¸¸, Áõ¹ß½ÃŲ Source¸¦ »ç¿ëÇØ¾ß ÇϹǷΠTankÀÇ Å©±â°¡ ¾î´ÀÁ¤µµ ³Ð¾î¾ß µÈ´Ù°í »ý°¢À» Çϴµ¥¿ä~ ÀÌ°É ¾î¶»°Ô °è»êÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¹æ¹ýÀ» ¾Ë·ÁÁÖ½Ã¸é µµ¿òÀÌ ¸¹ÀÌ µÉ°Í °°½À´Ï´Ù.
Vapor¸¦ »Ì¾Æ³¾ ¶§´Â PumpµîÀ» ÀÌ¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ¾Ð·ÂÂ÷¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. 80¡É¿¡¼ Áõ±â¾ÐÀÌ 200TorrÀÌ°í ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ´Â 10Torr·Î Pressure ControlÇÏ¿© ¾Ð·ÂÂ÷¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Vapor¸¦ »Ì¾Æ³¾ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
|
|
|
|