¾È³çÇϼ¼¿ä.
Chemical ȸ»ç 5³âÂ÷ ¿£Áö´Ï¾îÀÔ´Ï´Ù.
¹°(DIW)À» 90%ÀÌ»ó Blending ÇÑ ChemicalÀ» 200m PFA ¹è°üÀ» 7lpm, 30psi·Î Loop Áö¼Ó ¼øȯÇÏ¸é¼ POU¿¡ °ø±ÞÁßÀÎ »óȲÀÔ´Ï´Ù.
- Áö¸§ 60cmÀÇ(100L ¿ë·®) ¿ø±âµÕ Tank(ºñ¹ÐÆó, ºñ ¾Ð·Â¿ë±â) ·Î ¼øȯÁß (÷ºÎÆÄÀÏ »çÁøÂü°í)
- ÇÔÀ¯µÈ ¼ººÐ Áß DIÀÇ ºñÁßÀÌ °¡Àå ³·¾Æ, Áõ¹ßÀÌ ÀϾ¶§, DI°¡ ¿ì¼±¼øÀ§·Î Áõ¹ßÇÒ°ÍÀ¸·Î ¿¹»ó
¡Ø À̶§, DIÀÇ Áõ¹ß¼Óµµ ¹× Áõ¹ß·®À» ¾Ë°í½Í½À´Ï´Ù..
¡Ø ¹°·Ð LoopÀÇ Áö¼Ó ¼øȯ¿¡ µû¶ó, Tank Ò®·Î ¼øȯµÇ´Â Chemical¿¡ ÀÇÇØ, Tank Ò® ÀÜ¿© Chemical °úÀÇ ¸¶Âû Strss¿¡ ÀÖ°ÚÁö¸¸, ÇØ´çºÎºÐ Á¦¿ÜÇÏ°í, Tank Ò® ¿¡¼ ÀϾ´Â Áõ¹ß¼Óµµ or Áõ¹ß·®À» ¾Ë°í½Í½À´Ï´Ù.
ºñ½ÁÇÑ ¸î¸î Áú¹®µéÀ» º¸´Ï API2000¿¡ °ü·Ã³»¿ëÀÌ ÀÖ´Ù°íµé¾ú´Â´ë, ÇØ´çºÎºÐ È®ÀÎÇØÁÖ½Ã¸é °¨»çÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.