전 설비 엔지니어로 일을 하고있습니다

업무중 궁금한점이 있어서 질문을 드립니다.

NF3 Clean Gas를 약 1000도 정도 되는 SUS chamber 에서 정화 처리를 합니다.

 

그런데 SUS Chamber이 부식으로인한 장비 트러블이 발생이 됩니다.

 

NF3 Gas는 부식성이 강하여 다른 재질로 사용을하여도

문제가 발생되는걸로 알고있습니다.

 

NF3 GAS를 1000도의 고온에서 부식이 나지 않는 재질이 뭐가 있을지

알수 있는지요?

 

답변 기다리겠습니다.