저희 실험실에서 수소와 헬륨 가스를 사용하는데 저희가 사용하는 압력 범위가 대략 200mbar 근처입니다.

 

그런데 레귤레이터를 이용하니 200mbar 근처에서 오차가 생기더다구요. (연속적으로 압력을 보내는 것이 아니라 gate를 몇초간 열고 닫는 pulse 형태로 압력이 들어갑니다. 그리고 이 압력이 바로 진공속으로 들어가구요.)

 

저희는 압력이 균일하게 나오는 것을 원하나, 저압에서는 균일함이 많이 떨어지더군요.

 

그래서 레귤레이터를 바꿔 볼까도 생각중인데, 제가 지금 사용하고 있는 모델은 Crown 제품의 FR-IIS-OP 입니다.

 

그런데 한 업체는 이것이 2단 감압이 되어 0.2~0.6 bar 의 범위에서 조정이 가능하다고 하시고, 다른 업체에서는 이런 타입은 전부 1단 감압이라고 합니다. 2단 감압을 할려면 이 레귤레이터에 gauge 가 하나가 달린 regulator를 추가적으로 설치하여 2단 감압이 가능하다고 합니다.

 

이 두 업체에서 하는 말이 다른 내용인 것 같은데, 제가 이해 한 것이 맞는지 모르겠네요. 여기에 대해서 자세히 아시는 분 계시면 설명 부탁드립니다.

 

그리고 추가적으로 저의 실험실 경우처럼 200mbar 근처의 압력을 사용해야 하는 경우 (물론 정확성이 높을수록 좋습니다.), 어떠한 레귤레이터가 효과적일까요? 아니면 Flowmeter 나 MFC 를 달아야 하나요?

 

미리 답변을 달아주신 분들께 감사의 말씀 드립니다.