¾È³çÇϼ¼¿ä.
N2, SiH4¸¦ ÇöóÁ ¿¡³ÊÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ºÐÇØÇÑ ÈÄ Si3N4 thin filmÀ¸·Î »ý¼ºÇÏ°íÀÚ ÇÒ¶§
¹ÝÀÀ°¡½º·®ÀÌ »ç¿ëµÇ´Â ¿¡³ÊÁö ´ëºñ ³Ê¹« Ä¿¼ ºÐÇØ°¡ Á¦´ë·Î µÇÁö ¾Ê´Â µí ÇÕ´Ï´Ù.
Ȥ½Ã N2, SiH4¸¦ ºÐÇØÇϴµ¥ ÇÊ¿äÇÑ ¿¡³ÊÁö°¡ ÀûÁ¤ÇÑÁö ¾Ë¾Æº¸°¡ Çϴµ¥
N2, SiH4 1 ºÐÀÚ¸¦ ºÐÇØÇÏ´Â ¿¡³ÊÁö°¡ ¾î´ÀÁ¤µµ ÇÊ¿äÇÑÁö °è»êÇØ ³¾ ¼ö ÀÖÀ»Áö¿ä?
°í¼ö´Ôµé Á¶¾ð ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.