¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â HMDS(Hexamethyldisilazane)´Â Ä£¼ö¼ºÀΠǥ¸éÀ» ¼Ò¼ö¼ºÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁÖ´Â ¿ªÈ°À» ÇÕ´Ï´Ù.
±×·¯³ª ºÎ½Ä¼º ¹× µ¶¼ºÀÌ °Çؼ ÇǺο¡ ´êÀ¸¸é È»óÀ» ÀÔÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÇöÀç HMDS¸¦ ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ã°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¾Æ½Ã´ÂºÐ ÀÖÀ¸¸é ¾Ë·ÁÁÖ¼¼¿ä