스테파노님께 질문이 많네요

공정에서 Gas를 많이 사용하다 보니 이쪽에 질문을 올리게 됩니다. 항상 도움 주셔서 많이 감사드리구요..

오늘 드릴 질문은 MFC에 관해서 인데요, 내용은 아래와 같습니다.

 

Q1) MFC의 원리적인 내용입니다. MFC는 영어로 풀이한 것 그대로 Gas 또는 유체의 질량으로 유량을 제어

      하는데 당사에서 사용하는 MFC의 유량 단위는 lpm 또는 mlpm을 사용합니다.

      즉 질량 단위가 아닌 부피단위를 사용한다는 말인데 이 때의 부피단위는 표준상태(0℃, 1기압)를

      말하는 거겠죠? 그렇다면 주위 환경(온도나 압력)이 MFC가 보증하는 범위에 있다면 항상 같은

      질량, 부피, 밀도의 기체가 흐르게 되는 건가요?

 

Q2)만약 44L 봄베에 35℃에서 140kg/cm2의 압력으로 CH4가 충진되어 있고 이 가스는 대기온도 20℃의

     환경에 레귤레이터에서 2.5kg/cm2로 감압 후 MFC로 유량을 제어하여 공정에 투입된다면 CH4 봄베

     의 사용양을 계산하기 위해서는 온도 및 압력변수를 20℃, 2.5kg/cm2가 아닌 0℃ 1기압의 표준상태로

     계산을 해야 하는 건가요? (MFC가 표준상태의 유량으로 제어하니까)

 

      풀이1) 레귤레이터 및 주위 온도 기준으로 계산할 경우

                V'=(PVT')/(P'T) 수식을 사용해서 

                   =((140+1.033)*44*(20+273))/((2.5+1.033)*(35+273))

                   =1760.89L

      풀이2) MFC가 제어하는 표준상태로 계산할 경우

                V'=(PVT')/(P'T) 수식을 사용해서 

                   =((140+1.033)*44*(0+273))/(1.033*(35+273))

                   =5324.58L

 

      풀이1과 풀이2 중 어떤식으로 계산을 해야하나요??

 

Q3)만약 H2 전용 MFC에서 30lpm으로 H2를 흘려 반응로로 유입될 경우 반응로 내의 H2 부피 변화는 어떻

     게 되나요? 반응로의 온도는 500℃ 압력은 0.2kg/cm2 입니다.

 

      풀이1) MFC가 제어하는 표준상태로 계산할 경우

                V'=(PVT')/(P'T) 수식을 사용해서 

                   =(1.033*20*(500+273))/((0.2+1.033)*(0+273))

                   =47.44L

      

      이건 뭔가 이상한거 같은데 도움 부탁드립니다. 

      엔지니어가 될려면 아직 한참 걸릴거 같네요