Àü¿¡ ½è´ø ±ÛÀÌ ¼öÁ¤µµ »èÁ¦µµ µÇÁö ¾Ê´õ±º¿ä
´Ù½Ã ¿Ã¸³´Ï´Ù.
À̸§µµ º»¸íÀ¸·Î ÇßÀ¸´Ï ¹®Á¦´Â ¾ø°ÚÁÒ?
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â HMDS(Hexamethyldisilazane)´Â waferÀÇ Ä£¼ö¼ºÀΠǥ¸éÀ» ¼Ò¼ö¼ºÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁÖ´Â ¿ªÈ°À» ÇÕ´Ï´Ù. PRÀÌ ¼Ò¼ö¼ºÀ̱⠶§¹®¿¡ PRÀÌ wafer¿Í ´õ ±ä¹ÐÇÑ Á¢ÃËÀ» À¯Áö ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
±×·¯³ª ºÎ½Ä¼º ¹× µ¶¼ºÀÌ °Çؼ ÇǺο¡ ´êÀ¸¸é È»óÀ» ÀÔÀ» ¼ö ÀÖ°í ¾Ï¸ð´Ï¾Æ ¶§¹®¿¡ ³¿»õµµ Áöµ¶ÇÕ´Ï´Ù.
ÇöÀç HMDS¸¦ ´ëüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹°ÁúÀ» ã°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
»ï¼º ¹ÝµµÃ¼¿¡¼´Â hmds¸¦ ¾È¾²°í ´Ù¸¥ ¹«µ¶¼º ¹°ÁúÀ» ¾´´Ù°í
À̾߱⸦ µé¾ú´Âµ¥ ±×°Ô ¾î¶² ¹°ÁúÀÎÁö ¸ð¸£°Ú½À´Ï´Ù.
ÀÌ À̾߱Ⱑ »ç½ÇÀÎÁö ¾Æ´ÑÁöµµ È®ÀÎÀÌ ¾ÈµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
hmds¿Í ºñ½ÁÇÑ ¼ºÁúÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Â ¹°ÁúÀÌ ÀÖÀ¸¸é ¾Ë·ÁÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù~
Á¦¹ß~~~ Á¤¸» ±ÞÇÕ´Ï´Ù.