¾È³çÇϼ¼¿ä. ´Ã ÁÁÀº Á¤º¸·Î ¸¹Àº µµ¿ò ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
N2 °¡ 1000 LPM ¿¡
SF6 ¸¦ 500 / 1000 / 1500 / 2000 LPM À» FLOW ½Ãų ¶§
ÈÇÐÀû ¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ »ý¼ººÎ»ê¹°¿¡ ´ëÇØ ¾Ë°í½Í½À´Ï´Ù. (¸î PPMÁ¤µµ°¡ µÇ´ÂÁö...)
SF6 + CH4 + O2 + N2 ¤Ñ> ????
HF + CO + CO2 + NO + NO2 + SO2 + SO2F2 + SOF2 µîÀÌ »ý±æ°Í °°Àºµ¥..
¾Æ½Ã´Â ºÐ ´äº¯Á» ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.