¾È³çÇϼ¼¿ä. Ç×»ó ¸¹Àº µµ¿ò Áּż °¨»çÇÕ´Ï´Ù. Gas ¿·® °è»ê ¹®Á¦¸¦ Ç®¾ú´Âµ¥ ¿Ç°Ô Ǭ°ÇÁö È®ÀÎ Á» ºÎŹµå¸³´Ï´Ù. ¼ÕÀ¸·Î °è»êÇÑ °ª°ú ÇÁ·Î±×·¥À» ÀÌ¿ëÇÑ °ªÀÌ ¸¹ÀÌ Â÷ÀÌ°¡ ³ª¼¿ä...
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- condition -
À¯ÀÔ°¡½º À¯·® : NH3 15LPM / SiH4 1.5LPM / ¹ÝÀÀ Air 104LPM / N2 300LPM
À¯ÀÔ ¿Âµµ´Â 25¡ÉÀÌ°í Heater¸¦ ÅëÇÏ¿© 800¡É±îÁö ½Â¿Â½ÃÄ×À» ¶§ ÃÑ ¿·® °è»ê
[ °øÁ¤ Gas Çö¿ ]
¨ç NH3 : 15LPM*35.7J/mol¡É*(800-25)¡É= 265.51kcal/hr
¨è SiH4 : 1.5LPM*42.98J/mol¡É*(800-25)¡É= 31.97kcal/hr
¨é Total °øÁ¤ Gas = 297.48kcal/hr
[ N2 Çö¿ ]
¨ê 300§¤/min*28.88J/mol¡É*(800-25)¡É= 4283.82kcal/hr
[ Air Çö¿ ]
¨ë 104LPM*0.31kcal/m3¡É*(800-25)¡É= 1499.16kcal/hr
[ 800¡É ½Â¿Â ½Ã ÇÊ¿ä ¿·® ]
¨ì = ¨é£«¨ê+¨ë = 6080.46kcal/hr
ÁÖÀÔµÈ Gas¸¦ 800¡É±îÁö ½Â¿ÂÇϱâ À§Çؼ´Â 6080.46kcal/hr = 7.07KWh ÇÊ¿ä
¡Ø SiH4 1.5LPM ÁÖÀÔ ½Ã 0.067mol / NH3 15LPM ÁÖÀÔ ½Ã 1.43mol
¨î 0.067 SiH4 + 0.134 O2 = 0.067 SiO2 + 0.134 H2O ¡æ 22.804kcal
¨ï 0.67 NH3 + 0.8375 O2 = 0.67 NO + 1.005 H2O ¡æ 36.269kcal
¡Å Total 59.073kcal/min = 3544.38kcal/hr (¹ß¿¹ÝÀÀ)
= 800¡É ½Â¿Â ½Ã Total Gas ÇÊ¿ä¿·®(¨í) + ÈÇйÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ ¹ß¿·®(¨î+¨ï)
= 6366.84kcal/hr + 3544.38kcal/hr = 9911.22kcal/hr = 11.53KWh
800¡É±îÁö ½Â¿Â ÈÄ gasÀÇ ÈÇйÝÀÀ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýµÇ´Â ¹ß¿·®Àº 3544.38kcal/hr
= 4.12KWhÀÌ°í ½Â¿Â¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¿·® 7.07KWh°ú ÇÕÇÏ¿© ÃÑ ¿·®Àº 11.53KWh
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ÀÌ·±½ÄÀ¸·Î gas ½Â¿Â ½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¿·®°ú ÈÇйÝÀÀ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýµÇ´Â ¿·®À» °è»êÇÏ¿´°í ÀÌ°É Åä´ë·Î ¿©·¯°¡Áö¿¡ ÀÀ¿ëÇÏ¿´½À´Ï´Ù. °è»êÀÌ ¸Â´Â°ÇÁö È®ÀÎÁ» ºÎŹµå¸±²²¿ä~ °¨»çÇÕ´Ï´Ù.