¾È³çÇϼ¼¿ä. ¿À´Ã ȸ¿ø °¡ÀÔÇÑ °³¹Ù¸®(º°¸í)¶ó°í ÇÕ´Ï´Ù.
NH3¿Í NF3 Gas¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Plasma¸¦ »ý¼ºÇÑÈÄ À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â °øÁ¤À» °³¹ß ÁßÀε¥ Àß ¸ð¸£´Â Çö»óÀÌ ÀÖ¾î Áú¹®À» µå¸®°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
1) NH3¿Í NF3¸¦ µ¿½Ã¿¡ °ø±ÞÇÏ¸é¼ ÇöóÁ ¹ß»ý½Ã ÇöóÁ ¹ß»ý ¿µ¿ª ÁÖº¯ÀÇ ¿Âµµ°¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³·ÀºÂÊ¿¡ ¹é»ö powder°¡ ¹ß»ýÀ» Çϴµ¥ ±× Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â ÀÌÀ¯°¡ ÀÌÇØ°¡ µÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. NH3ÀÇ °æ¿ì´Â ¿°À» ¸¸µç´Ù°í´Â ¾Ë°í Àִµ¥ ÁÖº¯ÀÇ ¿ÂµµÀÇ Â÷°¡ ±×¸® Å©Áö ¾ÊÀ» °Í °°Àºµ¥ ¹ß»ýÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ð¸£°Ú³×¿ä.
2) NH3¿Í NF3¸¦ °í¿ÂÀº HeatingÇؼ °ø±ÞÇϸé ÇöóÁ ¹ß»ý½Ã ÁÖÀÇ¿¡ Powder°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾ÊÀ» °Í °°¾Æ
½Ãµµ¸¦ ÇØ º¸¾Ò´Âµ¥ 150¡É·Î Heating °ø±ÞÇÒ ¶§´Â ¹ß»ý Á¤µµÀÇ Â÷ÀÌ°¡ ¾ø°í 250¡É·Î HeatingÇÏ¿© °ø±ÞÇÏ´Ï heater ¾Õ µÚ ´Ü¿¡ powder°¡ Çü¼ºµÇ°í heater¿Í ¿¬°áµÇ¾î ÇöóÁ ¹ß»ý¿µ¿ªÀ¸·Î °ø±ÞµÇ´Â ÂÊÀÇ ¿¬°áºÎ ÀÔ±¸¿¡ ¸·È÷´Â Çö»óÀÌ ¹ß»ýÀ» ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ ´ëÇؼµµ Àß ¸ð¸£°Ú³×¿ä.
3)NH3¿Í NF3¸¦ ÇöóÁ °¡½º·Î »ç¿ëÇÒ ¶§ ÀÌ·± Powder¸¦ ¹ß»ý½ÃÅ°Áö ¾ÊÀ¸·Á¸é ¾î¶² ¹æ¹ýÀ» Àû¿ëÇØ¾ß ÇÏ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
±×·³ µµ¿ò ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.