안녕하세요. 오늘 회원 가입한 개바리(별명)라고 합니다. 

NH3와 NF3 Gas를 이용하여 Plasma를 생성한후 이를 이용하는 공정을 개발 중인데 잘 모르는 현상이 있어 질문을 드리고자 합니다.

1) NH3와 NF3를 동시에 공급하면서 플라즈마 발생시 플라즈마 발생 영역 주변의 온도가 상대적으로 낮은쪽에 백색 powder가 발생을 하는데 그 현상이 발생하는 이유가 이해가 되지 않습니다. NH3의 경우는 염을 만든다고는 알고 있는데 주변의 온도의 차가 그리 크지 않을 것 같은데 발생하는 것이 모르겠네요.

2) NH3와 NF3를 고온은 Heating해서 공급하면 플라즈마 발생시 주의에 Powder가 발생하지 않을 것 같아

시도를 해 보았는데 150℃로 Heating 공급할 때는 발생 정도의 차이가 없고 250℃로 Heating하여 공급하니 heater 앞 뒤 단에 powder가 형성되고 heater와 연결되어 플라즈마 발생영역으로 공급되는 쪽의 연결부 입구에 막히는 현상이 발생을 하였습니다. 이에 대해서도 잘 모르겠네요.

3)NH3와 NF3를 플라즈마 가스로 사용할 때 이런 Powder를 발생시키지 않으려면 어떤 방법을 적용해야 하는지 궁금합니다.

그럼 도움 부탁드립니다.