NF3 가 반도체 공정중 챔버안에서 불순물을 제거하는 용도로 쓰이는걸로 알고 있습니다.

 

하지만 저희 회사에서는 그 챔버 안의 모든 불순물..등등 을 제거하여 챔버를 진공상태로

 

유지하게 하는 진공펌프를 제작하는 회사인데요.(즉 챔버안의 NF3건 반응물이건..모두 흡스하여 진공상태로 만듬)

 

중요한건. 특별히 NF3 공정만 들어가면 펌프 내부에 부산물이 쌓여서 펌프 내에서 돌고 있는

 

피스톤 표면부에 부식? 아니면 부산물등이 쌓여 마찰로 인하여 피스톤이 돌지 못하네요..

 

피스톤 제질은 구상흑연주철 이구요.. 이러한 NF3 가스와 주철과의 반응이 실제로 이루어 지는지..

 

아니면 단순히 챔버 안의 가스와 NF3 와의 반응으로 인한 혼합 가스가 펌프 내로 유입되어..

 

펌프내부에 부산물이 축적 되는것인지 궁금하네요..

 

NF3와 주철성분으로 이루어진 피스톤이 실제로 반응하여.. 피스톤의 치수가 변경된다던지..아니면..

 

피스톤의 화학조성같은것이 변경이 될수가 있는지.궁금합니다.

 

답변 기다리겠습니다.. ^^*  저에게 크나큰 도움이 될것입니다..

 

부탁 드립니다.