전에 썼던 글이 수정도 삭제도 되지 않더군요

다시 올립니다.

이름도 본명으로 했으니 문제는 없겠죠?

 

반도체 공정에서 쓰이는 HMDS(Hexamethyldisilazane)는 wafer의 친수성인 표면을 소수성으로 만들어주는 역활을 합니다.  PR이 소수성이기 때문에 PR이 wafer와 더 긴밀한 접촉을 유지 할 수 있습니다.

 

그러나 부식성 및 독성이 강해서 피부에 닿으면 화상을 입을 수 있고 암모니아 때문에 냄새도 지독합니다.

현재 HMDS를 대체할 수 있는 물질을 찾고 있습니다.

 

삼성 반도체에서는 hmds를 안쓰고 다른 무독성 물질을 쓴다고

이야기를 들었는데 그게 어떤 물질인지 모르겠습니다.

이 이야기가 사실인지 아닌지도 확인이 안되고 있습니다.

 

hmds와 비슷한 성질을 가지고 있는 물질이 있으면 알려주시기 바랍니다~

제발~~~ 정말 급합니다.