게시판 > 질답게시판 > NF3 가스 반응에 대하여 화학 시험 연구원 성분 분석 결과가 나왔습니다.

Stefano

10-03-17 12:56

NF3는 비교적 안정한 물질로 보입니다. 온도가 아주 높지 않으면 쉽게 N2와 F2로 분해되지 않을 것으로 보입니다. 액상 혼합물 분석에서 F 성분이 검출되었다는 의미는 F-이온 상태로 불산염이 녹아 있는 상태로 혼합되어 있을 것입니다. 즉 NaF FeF2, FeF3, NiF2 등이 물에 용해되어 있겠지요.

F2, HF가 완전건조한 상태라고 하면 금속용기로도 보관가능하겠으나 물에 용해된 상태라고 하면 금속용기로는 견디는 재질이 별로 없을 것이고 Glass도 부식이 됩니다 . 온도가 높지 않다면 불소수지로 Lining 되어 있는 용기에 저장해야 할 것이고 펌프의 경우에도 PTFE, PFA, ETFE, 등으로 Lining 되어 있는 Pump를 사용해야 할 것입니다.

김병연 jhkaim82

10-03-19 15:07

감사합니다.

갑자기 생각난 저의 견해로는

어짜피 nf3 가스는 일반적으로 반응성이 상당히 낮는 물질이라고 하셨고, 온도가 어느정도 이상 상승할경우,

분해반응이 이뤄지고 F 성분의 의하여 철이 부식되는걸로 이해가 됩니다.

때문에 니켈도금을 하지 않더라도, 펌프 가동시 펌프 내부의 온도를 COOLING 해주는데(현재도 쿨링하고 있음)

이 Cooling 할경우에 온도를 좀더 낮추는 방안을 강구한다면(즉 nf3 가 분해반응이 이뤄지는 온도 이하로)

니켈도금 필요없이 펌프 내부가 nf3에 의한 반응에 의해 부식이 되지 않을수도 있다는 생각이 드는데..

스테파노님 의견은 어떠신지 궁금합니다.

또한 이러한 쿨링라인을 설치시 온도를(현재 water cooling)좀더 낮출수 있는 방안이 있을까요?

그리고 nf3가스의 분해 반응이 주로 온도 상승에 의한것인지..아니면 온도영향뿐 아니라 다른 물질에 의해서도 일어나는지..궁금합니다.

참..이전문의때 답변해준신 PTFE-Lined (nf3에 의한 펌프부식 대응방안) <--- 이 물질의 특성을 알수 있을까요??

바쁘실텐데 항상 감사드립니다.

꾸벅

스테파노 Stefano

10-03-19 17:41

(1) NF3가 쉽게 분해되지 않는 안정한 물질이라면 과열되지 않도록 주의하면 되겠지요. NI3, NBr3 등은 쉽게 분해되지만 NF3, NCl3는 그렇지 않은 것으로 판단됩니다. 열분해 온도를 다시한번 확인해 보세요.

Pump를 냉각하는 방법도 있겠지만 액을 냉각하여 펌핑하는 방법도 있겠습니다. 그러나 펌프를 닫아둔 상태로만 운전되지 않는다면 열이 많이 발생되지는 않습니다. 충분히 흐르는 유체가 온도상승을 흡수할 테니까요.

(2) PTFE는 에칠렌 분자의 수소4개를 모두 F로 치환한 TFE(Tetrafluroethylene)을 중합시켜 만들어지는 불소수지이므로 온도가 250도 이상 되지만 않는다면 F2 Gas나 HF, F-이온 등에 거의 반응하지 않을 것입니다.

김병연

10-03-19 17:54

답변 정말 감사 드립니다. 많은 도움이 되었네요.

수고하십쇼~!! ^^