안녕하세요..? 매번 보고만 가다가 질문 처음으로 드립니다..

저는 반도체 설비관련된 일을 하고 있습니다.

장비 개발을 하는데 있어 사양 선정을 해야하는데요..

막히는 부분이 있어서요..

다름이 아니라...

 

PCW(Cooling Water) / GN2 / CDA / CW(City Water) 등의 유틸리티 배관을 선정을 해야합니다..

STS Tube로 .. 기존 장비는 그런 사양없이 1/2" Tube로 유틸리티를 받아 장비에 공급하는데요.

이번 장비는 여러 대를 통합으로 관리를 하기때문에 종전 보다는 유틸리티 사양이 커질 것 같습니다.

문제는.. 유량, 압력은 알고는 있지만..

유속을 몰라 커넥션 사이즈를 못 정하고 있습니다..

 

하여.. PCW,CDA등 유체 기체등의 배관 선정 기준이 어떻게 되는지, 예를 들어 PCW는 3kg/cm^2의 압력으로 30LPM이 들어오는데 배관 사이즈는 1/2"를 써야한다는...

 

그런 자료나 아니면 배관 사이즈 확인하는 방법을 여쭤봅니다..

 

참고로 저희 공급사양은 GN2=5kg/cm^2 으로 370 LPM의 유량이 유입되구요..

                                 PCW=3kg/cm^2 으로 39 LPM의 유량이 공급됩니다..

 

고수님들의 답변 기다리겠습니다..

감사합니다!