ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  ppma¿¡¼­ ppmw Àüȯ¿¡ °üÇÑ Áú¹®
  ±Û¾´ÀÌ : Ȧ¸®   °íÀ¯ID : maestroxex     ³¯Â¥ : 11-09-14 17:14     Á¶È¸ : 4576    
Q&A  °Ë»ö¿¡¼­ °ü·Ã ´äº¯À» º¸¾Ò½À´Ï´Ù  ppbw->ppba·ÎÀÇ ÀüȯÀ̾ú½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¸î°¡Áö¿¡ ÀÖ¾î ÀÀ¿ëÇϱ⠾î·Á¿î ºÎºÐÀÌ ÀÖ¾î Áú¹®µå¸³´Ï´Ù.
 
¿¹) 145.5ÀÇ ºÐÀÚ·®À» °¡Áö´Â ¹°Áú SiCl4(ºÐÀڷα¸¼º) ¼Ó¿¡ Boron 100ppma°¡ ÀÖ´Ù°í ÇßÀ»¶§ (B: 10.8g)
    10^6*100*10.8/(100*10.8+(10^6-100)*145.5) = 7.4ppmwB ¶ó°í °è»êÀ» Çߴµ¥ ÀÌ ¹æ½ÄÀÌ ¸Â´ÂÁö¿¡ ´ëÇØ Àǹ®ÀÔ´Ï´Ù.  
 
   »ó±âÀÇ °æ¿ì SiCl3Àº ºÐÀÚ·Î ±¸¼ºµÇ¾î Àִµ¥ BoronÀÇ °æ¿ì´Â ¿øÀÚÀ̱⠶§¹®¿¡ ppma¸¦ ppmw·Î Àüȯ ÇÏ´Â °ø½Ä¿¡ ¸Â´ÂÁö Àǹ®ÀÌ µì´Ï´Ù.
 
¸¸¾à »ó±â°¡ ¸Â´Ù¸é SiCl4Áß¿¡ BCl3°¡ 100ppma°¡ ÀÖ´Ù°í ÇßÀ»¶§ ppmw·Î ÀüȯÇÏ´Â ½Äµµ »ó±â ó·³ »ç¿ëÇÏ¸é µÉÁö¿¡ ´ëÇØ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.

½ºÅ×Æijë Stefano   11-09-17 17:16
(1) ppma('ppm by atom')´Â ´Ü¼øÈ÷ ¹°Áú¿¡ µé¾îÀÖ´Â ¿øÀÚÀÇ ¼ö·®¸¸À» ±âÁØÀ¸·Î Çì¾Æ¸®´Â ´ÜÀ§À̱⠶§¹®¿¡ SiCl4¿Í °°ÀÌ ºÐÀÚ¿Í ÇÔ²² Çì¾Æ¸± ¼ö°¡ ¾øÀ» °ÍÀÔ´Ï´Ù. 

Áú¹®¿¡¼­ Boron ¿øÀÚÀÇ ¼ö¸¦ Çì¾Æ·Á 100 ppma°¡ ¾ò¾îÁ³´Ù¸é Àüü 1¹é¸¸°³ÀÇ ¿øÀÚÁß 100°³ÀÇ B°¡ µé¾îÀÖ´Ù´Â ³óµµ¸¦ ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù.     

1) SiCl4´Â 1°³ÀÇ ºÐÀÚ¿¡ 5°³ÀÇ ¿øÀÚ°¡ µé¾îÀִµ¥ ÀÌ ºÐÀÚ³»¿¡ µé¾îÀÖ´Â ¿øÀÚÁß¿¡¼­ Si¿Í B¸¸À» Çì¾Æ·Á  ³óµµ¸¦ ³ªÅ¸³½ °ÍÀÎÁö
2) 1ºÐÀÚÀÇ SiCl4¸¦ 5°³ÀÇ ¿øÀÚ·Î Çì¾Æ¸®°í ÇÔ²² µé¾îÀÖ´Â B¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ¿© ³óµµ¸¦ ³ªÅ¸³½ °ÍÀÎÁö...

(2) ¸¸ÀÏ 1)ÀÇ °æ¿ì·Î Á¤ÀÇ Çß´Ù¸é ´Ü¼øÈ÷ Si¿Í B¸¦ ¸ð·ç Çì¾Æ¸° ¹é¸¸°³ ¿øÀÚÁß¿¡¼­ 100°³¸¸ B¶ó´Â °ÍÀÌ°í
¸¸ÀÏ 2)ÀÇ °æ¿ì¶ó¸é Si,  Cl,  B¸¦ °¢°¢ Çì¾Æ·Á Àüü ¹é¸¸°³ ¿øÀÚÁß 100°³°¡ B¶ó´Â Àǹ̰¡ µË´Ï´Ù. 

ppbw¿Í ppbaÀÇ ´ÜÀ§È¯»ê ÀÌÀü¿¡ À̵éÀÇ °¢°¢ÀÇ Á¤ÀÇ°¡ ¾îÂîµÇ´ÂÁö ¸ÕÀú È®ÀÎÇØ º¸µµ·Ï Çϼ¼¿ä.

(3) ³óµµ°¡ ¾ÆÁÖ ¹±Àº °æ¿ì ÀüüÀÇ ¿øÀÚ¼ö´Â B¸¦ Á¦¿ÜÇÑ ¿øÀÚ·Î Çì¾Æ¸®´Â °æ¿ìµµ ÀÖ°í À̸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â °æ¿ìµµ Àֱ⠶§¹®¿¡ ¸íÈ®ÇÑ Á¤ÀǸ¦ º¸Áö¾ÊÀ¸¸é ȯ»êÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)