Q&A °Ë»ö¿¡¼ °ü·Ã ´äº¯À» º¸¾Ò½À´Ï´Ù ppbw->ppba·ÎÀÇ ÀüȯÀ̾ú½À´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¸î°¡Áö¿¡ ÀÖ¾î ÀÀ¿ëÇϱ⠾î·Á¿î ºÎºÐÀÌ ÀÖ¾î Áú¹®µå¸³´Ï´Ù.
¿¹) 145.5ÀÇ ºÐÀÚ·®À» °¡Áö´Â ¹°Áú SiCl4(ºÐÀڷα¸¼º) ¼Ó¿¡ Boron 100ppma°¡ ÀÖ´Ù°í ÇßÀ»¶§ (B: 10.8g)
10^6*100*10.8/(100*10.8+(10^6-100)*145.5) = 7.4ppmwB ¶ó°í °è»êÀ» Çߴµ¥ ÀÌ ¹æ½ÄÀÌ ¸Â´ÂÁö¿¡ ´ëÇØ Àǹ®ÀÔ´Ï´Ù.
»ó±âÀÇ °æ¿ì SiCl3Àº ºÐÀÚ·Î ±¸¼ºµÇ¾î Àִµ¥ BoronÀÇ °æ¿ì´Â ¿øÀÚÀ̱⠶§¹®¿¡ ppma¸¦ ppmw·Î Àüȯ ÇÏ´Â °ø½Ä¿¡ ¸Â´ÂÁö Àǹ®ÀÌ µì´Ï´Ù.
¸¸¾à »ó±â°¡ ¸Â´Ù¸é SiCl4Áß¿¡ BCl3°¡ 100ppma°¡ ÀÖ´Ù°í ÇßÀ»¶§ ppmw·Î ÀüȯÇÏ´Â ½Äµµ »ó±â ó·³ »ç¿ëÇÏ¸é µÉÁö¿¡ ´ëÇØ ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.