¾È³çÇϼ¼¿ä.
GasÀÇ ºÎÇÇÆØâ ¹× ¿Àü´Þ °ü·ÃÇÏ¿© Ç®¸®Áö ¾Ê´Â Á¡ÀÌ ÀÖ¾î µµ¿òÀ» ¿äûµå¸³´Ï´Ù.
¸ÕÀú, Test´Â ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ÁøÇàÀ» ÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
1. PumpingÀ» ÅëÇÏ¿© 30LÀÇ Chamber ³»¿¡ ¾Ð·ÂÀ» 2Torr·Î À¯ÁöÇÏ°í Chamber WallÀ» 300µµÀÇ ¿Âµµ·Î Heating
2. ChamberÀÇ Outlet ´Ü valve¸¦ close
3. HeatingµÈ Chamber ³»ºÎ·Î Ãʱâ 2Torr¿¡¼ 9Torr ¾Ð·ÂÀÌ µÉ¶§±îÁö 25¡ÉÀÇ N2 500sccm Gas À¯ÀÔ (MFC ÀÌ¿ë)
4. Ãʱâ 2Torr¿¡¼ 9Torr±îÁö ¾Ð·ÂÀÌ »ó½ÂÇÏ´Â ½Ã°£ Check
5. À§ °ªÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀÌ»ó±âü »óŹæÁ¤½ÄÀ» ÀÀ¿ëÇÑ À¯·® °è»ê (Ãʱâ MFC¸¦ ÅëÇÑ À¯·®°ú Chamber³»·Î °ø±ÞµÇ¾î ¿Âµµ¿¡ ÀÇÇØ ÆØâµÇ¾îÁø À¯·®ÀÇ ºñ±³)
- À̶§ ChamberÀÇ ¿Âµµ¿¡ ÀÇÇÑ N2 GasÀÇ ºÎÇÇÆØâÀ²À» ±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½ÄÀÌ ÀÖ´ÂÁö¿ä?
- Chamber WallÀ» 300¡É·Î HeatingÇÏ°í Gas À¯·® ¹× ¾Ð·Â Á¶°ÇÀÌ À§¿Í °°À» ¶§, Chamber ³»ºÎÀÇ ¿Âµµ º¯È´Â?
(Â÷°¡¿î N2 GasÀÇ °ø±ÞÀ¸·Î Chamber ³» ºÐÀ§±â´Â 300¡É°¡ ¾ÈµÉ °Í °°½À´Ï´Ù. ChamberÀÇ Outlet ´ÜÀÌ ¸·Çô Àֱ⠶§¹®¿¡(´ÝÈù
°è) Á¡Â÷ ¿Âµµ°¡ è¹ö wall°ú ºñ½ÁÇØÁú °Í °°Àºµ¥, ½ÇÇèÀ» ÅëÇÑ ¹æ¹ý ¸»°í °ø½Ä¿¡ ÀÇÇØ ±× ¿Âµµº¯È¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖÀ»Áö¿ä?)
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.