안녕하세요.

Gas의 부피팽창 및 열전달 관련하여 풀리지 않는 점이 있어 도움을 요청드립니다.

 

먼저, Test는 아래와 같이 진행을 하려고 합니다.

 

1. Pumping을 통하여 30L의 Chamber 내에 압력을 2Torr로 유지하고 Chamber Wall을 300도의 온도로 Heating

2. Chamber의 Outlet 단 valve를 close

3. Heating된 Chamber 내부로 초기 2Torr에서 9Torr 압력이 될때까지 25℃의 N2 500sccm Gas 유입 (MFC 이용)

4. 초기 2Torr에서 9Torr까지 압력이 상승하는 시간 Check

5. 위 값을 이용하여 이상기체 상태방정식을 응용한 유량 계산 (초기 MFC를 통한 유량과 Chamber내로 공급되어 온도에 의해 팽창되어진 유량의 비교)

 

- 이때 Chamber의 온도에 의한 N2 Gas의 부피팽창율을 구할 수 있는 식이 있는지요?

 

- Chamber Wall을 300℃로 Heating하고 Gas 유량 및 압력 조건이 위와 같을 때, Chamber 내부의 온도 변화는?

  (차가운 N2 Gas의 공급으로 Chamber 내 분위기는 300℃가 안될 것 같습니다. Chamber의 Outlet 단이 막혀 있기 때문에(닫힌

  계) 점차 온도가 챔버 wall과 비슷해질 것 같은데, 실험을 통한 방법 말고 공식에 의해 그 온도변화를 알 수 있을지요?)

 

 

감사합니다.