안녕하세요. LMFC(Liquid Mass Flow Controler)에 대하여 궁금한점이 있어 질문드립니다.

 

LMFC는 Thermal 방식, Thermal-Cooling 방식, Coriolis 방식 등 여러가지 방식들이 있는데요...

이 LMFC들은 모두 사용하려는 Gas에 대하여 Calibration이 필요합니다. 이때 Calibration을 하기 위해 필요한게 Gas의 Conversion Factor입니다. 이 Factor를 구하는 공식이 있을지요?

 

위의 LMFC 방식에 따라 Gas의 Conversion Factor도 달라지는 건가요?

 

예를 들어 IPA를 1로 보았을 때, TEOS가 0.9인것도 있고, 1.3인 것도 있습니다. LMFC 방식이 달라 적용된 공식도 다른건지..아님 실험값인지....

 

조언 부탁드립니다. 감사합니다.