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SiH4 + 2O2 --> SiO2 + 2H2O or SiH4 + O2 --> SiO2 + 2H2

글쓴이 : 딸기코눈사… 고유ID : rlxodl 날짜 : 11-12-27 11:55 조회 : 3644

고수님들의 도움이 필요합니다^^

SiH4 + 2O2 --> SiO2 + 2H2O or SiH4 + O2 --> SiO2 + 2H2 반응이 있습니다.

그러면 이식들의 농도에따른 반응성, 온도에 따른 반응성, 당량비에 따른 반응성을

계산 할 수 있나요??아니면 실험을 통한 결과를 도출해야만 하는건가요??

문헌을 찾아보아도 CVD공정에서 반응성 빼고는 나와 있지 않네요.

이제 2011년도 얼마 남지 않았네요~남은 한해 마무리들 잘하세요^^

끔찍한아이 mgood2

11-12-28 15:24

reaction selectivity
실험 또는 계산과학을 통해서 구할 수 있는 것으로 알고 있습니다.
계산으로 찾을려면 단순하게 찾을 수 있는게 아니라 양자역학을 이용한 계산을 해야되는 것으로 알고 있습니다.