안녕하세요. 우연히 들러 질문을 남깁니다.

 

  저는 생물공학을 주로 하다보니 화학공학쪽에 지식이 매우 빈약합니다. 이곳의 규칙을 잘 몰라 무작정 질문을 남기는 것이 원칙에 어긋나지 않는가 하는 생각이 듭니다.

 

  NF3, SiF4를 각각 Air와 LNG로 연소시킬 때 배출구에서 NF3의 경우 NOx물질이 증가하고, SiH4를 연소시킬 때 THC(Total Hydrocarbon)이 증가합니다. Air와 LNG로 버너 연소시킨 후 Water Scrubber를 통해 배출시키는 구조입니다.

 

  여기서 NOx와 THC의 생성원인과 예상되는 연소반응식, 생성량을 줄이기 위한 연소반응의 조절요소(예 불안전연소 등)에 대하여 궁금합니다.

 

  가능하신 한도내에서 힌트라도 주시면 대단히 감사하겠습니다.