안녕하세요.

 

가스업계에 종사하는 직장인인데요.

관련 지식이 부족해서 이렇게 긴급하게 문의 드립니다.(당장 test 진행을 해야하는 건이라서 긴급이라고 올렸습니다.)

고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.

 

문의 드릴 내용은 특정 가스의 MFC를 보정값을 줘서 다른 가스 사용하는 방법에 관련한 문의 입니다.

 

예를 들어

NF3의 MFC를 가지고 F2를 평가 하려고하는데요.

NF3의 CF 값은 0.499 이며 F2의 CF 값은 0.907 입니다.

그렇게되면 NF3 MFC에 대한 F2의 CF 값은 0.907/0.499 = 1.81763 이 될 것 같은데요.

제 가정이 맞다면 결론적으로 NF3 MFC에 1liter를 흘릴 때 F2는 1.81763 liter가 흐른다고 정리가 되겠네요.

 

그럼 여기서 질문 두개 들어 갑니다.

 

1. 이런 방식으로 F2를 NF3 MFC를 사용해도 문제가 없는지요?(실제 공급 유량에는 문제가 없는지요?)

 

2. F2 1liter/min을 흘리려면 NF3 MFC에 0.825liter/min 으로 setting하려고 하는데요. 맞는 것일까요?

 

제가 알기로는 다른 가스로 callibration을 하고 써야되는 것이 맞다고 아는데요. 시간관계상 위와 같이 보정값으로 진행하려고합니다.

문제가 없는지 검토 부탁드립니다.

 

그럼 답변 기다리겠습니다.

감사합니다.