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  NF3과 수소와 만나면 폭발성이 있는지?
  글쓴이 : 김영제   고유ID : 김영제     날짜 : 00-00-00 00:00     조회 : 8426    
디스플레이 중의 하나인 TFT-LCD 공정중에 CVD(화학기상증착)이라는 장치가 있는데 이곳에서 사용한 NF3와 H2 가 만나면 폭발성이 있는지요?
온도는 100℃ 정도 되며,압력은 1-2기압정도 됍니다....

Stefano Stefano   39-08-02 00:00
(1) NF3는 강력한 산화제로 작용하는 가스로 가연물과 섞이게 되면 폭발한다고 봐야 할 것입니다.  Oil이나 Grease 조차 접촉하지 말라고 MSDS에 적혀있습니다.

(2) 귀사에서 보유하고 있는 "물질취급요령"을 먼저 자세히 읽어보시기 바랍니다.  질문자가 이를 만일 찾았거든 일부 소개해주세요. (부탁입니다._

(3) 자료가 없을 경우 아래 소개하는 MSDS 자료를 참고하세요

http://www.airliquide.com/safety/msds/en/091_AL_EN.pdf
   

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