(1) SiH4, Silane은 CH4와 같은 구조이지만 아주 위험한 물질입니다. 자연발화점(Auto-Ignition Temperature, AIT)이 21℃이고 폭발범위는 1.37~100%이기 때문에 조금만 새어 나와도 폭발범위에 들어가고 대기온도하에서도 불이 붙을 위험이 큽니다.
(2) 일반적으로 Inert Gas가 들어있어도 그 물지르이 Lower Explosion Limit의 농도는 크게 변하지 않는다는 특성이 있습니다.
(3) 진공상태로 운전되고 있을 때 조금만 Air 새 들어가도 위험해지기 때문에 주의해야 할 것 같고 "보온재의 탄화"도 바로 누설된 가스의 연소로 인한 그을림으로 추정됩니다.
(4) 생산라인에서 1800 sccm의 SiH4가 사용되고 사용후 진공펌프로 배출하면서 N2 8000 sccm으로 Purging 한다고 했는데 실제의 유량이 과연 그런지? 만일 그렇다면 과량의 유량은 System에서 SiH4와 함께 어딘가로 새어나가고 있다는 것인지? 어딘가 새어나오는 곳에서 불이 붙었었던 것인지? 정밀 점검해 보세요.
