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[Á¶°Ç]
1. Purge N2 °ø±Þ¾Ð·Â : 30psig ~ 60psig
2. ¾×»ó Source °ø±Þ¾Ð·Â : 30psig
3. ¾×»ó Source Specific gravity (water=1) : 0.950
3. Áø°ø Pumping : 10-4 Torr
4. ¹è°ü Size : 1/4 inch
Purge N2ÀÇ °ø±Þ¾ÐÀÌ ³ô¾Æµµ ¾×»ó Source°¡ Purge N2 LineÀ¸·Î ¿ª·ùÇÏ¿© ¿À¿°ÀÌ ÀϾ´Ï´Ù. ÃßÁ¤À¸·Î ¿öÅÍÇܸӿ¡ ÀÇÇØ ¿À¿°ÀÌ ¹ß»ýµÇÁö ¾Ê³ªÇÏ´Â »ý°¢µµ µì´Ï´Ù. Ȥ½Ã À§ Çö»óÀÌ ÀϾ´Â ¿øÀÎ ¹× À̸¦ ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¼³°è, ¹æ¹ýµîÀÌ ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
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