Type I: 전기저항(@25℃)≥16.67 MΩ(전기전도도 ≤0.06 μS/cm)
Type II: 전기저항(@25℃)≥1 MΩ(전기전도도 ≤1 μS/cm), Maximum Total Impurity ≤0.1 mg/L with no detectable soluble silica
Type III: 전기저항(@25℃)≥1 MΩ(전기전도도 ≤1 μS/cm), Maximum Total Impurity ≤ 1 mg/L, Maximum Soluble Silica≤ 10 μg/L
Type IV: 전기저항(@25℃)≥0.2 MΩ (전기전도도 ≤5 μS/cm)
(2) Type I는 반도체 제조용으로 사용할 수 있는 등급이며 최종적으로 Mixed Bed Ion Exchanger를 사용한 Polishing을 통해서 다량 생산할 수 있고,
Type II는 실험실수준에서 사용할 수 있는 등급으로 순수를 최종 증류해서 얻을 수 있는 방법이고 Type III는 증류, Ion-Ex Resin, RO의 조합의 공를 거친후 0.45μ Membrane으로 Polishing하여 얻을 수 있는 등급이며 일반적으로 Type II 또는 III가 가장 많이 사용됩니다.
Type IV는 불순물의 함량이 특별히 정해져 있지 않은 용도의 순수를 의미 합니다.
(3) 이론적으로 순수의 저항은 25도에서 18.2 MΩ으로 추정된다고 합니다. 그러나 물에 NaOH가 0.8 wppb 섞여 있을 때 pH=7.04이고 이 때의 최대의 저항치 18.3 MΩ를 나타낸다고 합니다.
(4) 순수는 pH값이 값이 25도에서 7.0이고 온도에 따라 감소하게 되는데 100도에서는 pH는 6.2정도로 떨어집니다.
그렇다고 해서 "가열할 수 없다는 것"을 의미하는 것은 아니겠지요. ("죽을라 치면 무슨 짓을 못하겠는가"의 의미를 연상해 보세요.)
