ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  Source Tank ¸éÀû ±¸ÇÏ´Â ¹æ¹ý
  ±Û¾´ÀÌ : Ȳ¼º·æ   °íÀ¯ID : Ȳ¼º·æ     ³¯Â¥ : 39-06-02 00:00     Á¶È¸ : 9098    
¾È³çÇϼ¼¿ä! Àåºñȸ»ç(CVD)¿¡ ±Ù¹«Çϴ Ȳ¼º·æÀÔ´Ï´Ù.
À̹ø¿¡ MOCVD¿¡ »ç¿ëÇÒ ÀûÀýÇÑ Source TankÀÇ Å©±â¸¦ ¼±Á¤ÇÏ·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.

DEZ(diethylzinc)¶ó´Â Liquid Source(²ú´ÂÁ¡:117¡É)¸¦ Tank¿¡ ´ã¾Æ »ç¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
Source Tank´Â 80¡ÉÇ׿ÂÀ¸·Î ControlµÇ°í
À̶§ DEZÀÇ Vapor Pressure´Â 200TorrÁ¤µµ µË´Ï´Ù.

¼ø¼öÇÏ°Ô Áõ±â¾Ð¸¸À¸·Î DEZ Vapor¸¦ »Ì¾Æ¼­ ¾´´Ù°í ÇÒ ¶§(´Ü¼øÈ÷ Áõ¹ßµÈ Source¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù°í º¸¸é µÊ) ¿¬¼ÓÀ¸·Î 4.46E-2 mol/min ÀÌ»ó »ÌÀ» ¼ö ÀÖ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

¾çÀ¸·Î¸¸ µûÁö¸é Áö±ØÈ÷ ÀÛÀº ¾çÀÌÁö¸¸, Áõ¹ß½ÃŲ Source¸¦ »ç¿ëÇØ¾ß ÇϹǷΠTankÀÇ Å©±â°¡ ¾î´ÀÁ¤µµ ³Ð¾î¾ß µÈ´Ù°í »ý°¢À» Çϴµ¥¿ä~ ÀÌ°É ¾î¶»°Ô °è»êÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ¹æ¹ýÀ» ¾Ë·ÁÁÖ½Ã¸é µµ¿òÀÌ ¸¹ÀÌ µÉ°Í °°½À´Ï´Ù.

Vapor¸¦ »Ì¾Æ³¾ ¶§´Â PumpµîÀ» ÀÌ¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ¾Ð·ÂÂ÷¸¦ ÀÌ¿ëÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù. 80¡É¿¡¼­ Áõ±â¾ÐÀÌ 200TorrÀÌ°í ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ´Â 10Torr·Î Pressure ControlÇÏ¿© ¾Ð·ÂÂ÷¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© Vapor¸¦ »Ì¾Æ³¾ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.

Stefano Stefano   39-08-02 00:00
(0) Storage Tank¿¡ ´ã°ÜÀÖ´Â ÅÊÅ©°¡ Áø°ø»óÅ¿¡ ÀÖÁö ¾Ê°í ¶Ç ºñÁ¡¿¡ ³õ¿©ÀÖÁö ¾Ê´Ù¸é ÅÊÅ© ¾× À­ºÎºÐ ±â»ó¿¡ ÀÖ´Â Áõ±â´Â ´ë°³ °ø±â¿Í ÅÊÅ©³» ¹°ÁúÀÇ Áõ±âÀÇ È¥ÇÕ¹°ÀÌ µÈ´Ù´Â °Í¿¡ À¯³äÇؾßÇÕ´Ï´Ù.

(1) Áõ±â¾ÐÀÌ 200 torr¶ó´Â Àǹ̴ Áõ±â°¡ ²ú¾î ¿À¸£±â¿¡´Â ³Ê¹« ¿Âµµ°¡ ³·´Ù´Â °ÍÀÌ µË´Ï´Ù.

(2) ¶ÇÇÑ ÅÊÅ©·ÎºÎÅÍ (°ø±â³ª Áú¼Ò ¾øÀÌ)¼ø¼öÇÏ°Ô DEZ¸¸ Áõ¹ßÇÏ¿© ³ª¿Àµµ·Ï ÇÏ·Á¸é 760-200 = 560 mmHgÀÇ Vacuum Pump°¡ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.

(3) µû¶ó¼­ ¼ø¼öÇÑ DEZ Áõ±â¸¸ ÀÌ¿ëÇÏ·Á°í ÇÑ´Ù¸é DEZ Liquid¸¦ ÆßÇÎÇÏ°í À̸¦ °¡¿­ÇÏ¿© Áõ¹ß½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.

ÇÊ¿äÇÑ °ø±Þ¾Ð·ÂÀº ¾×ÀÌ ²úÀ»¶§(Áï Áõ±â·Î Á¸ÀçÇÒ ¼ö ÀÖÀ» ¶§)ÀÇ Áõ±â¾Ð°ú °°½À´Ï´Ù.

(4) Tank°¡ 80µµ Ç׿ÂÀ¸·Î À¯ÁöÇϱâ À§ÇØ Áõ¹ßÇÏ´Â µ¥ ¼Ò¿äµÇ´Â ¿­·®À» °è¼ÓÇؼ­ °¡¿­ÇØ ÁÖ¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù.  ±× ¿­·®Àº Áõ¹ß·®¿¡´Ù Áõ¹ßÀá¿­À» °öÇØÁÖ¸é µË´Ï´Ù.

  (Q, kcal/min) =  (Flow Rate, kg/min)*(Latent Heat of Vaporization, kcal/g).............................(1)

(5) ´ë±â¿Âµµ·Î °¡¿­µÇ¾î ÀÚ¿¬À» ÀÏÀ¸Å²´Ù°í ÇÏ¸é ±× ÇÊ¿äÇÑ ¸éÀûÀº Áõ¹ßµÇ´Â ¸éÀûÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ¿ë±âº®ÀÇ ¸éÀûÀÌ ÇÊ¿äÇÏ°ÚÁö¿ä.  ÀÌ·± °æ¿ì ¿­Àü´Þ¿¡ ÀÇÇØ °¡¿­µÇ´Â ¼Óµµ´Â ¿ÂµµÂ÷¿Í ¸éÀû ±×¸®°í ¿­Àü´Þ °è¼ö¿¡ ºñ·ÊÇÕ´Ï´Ù.

  (Q, kcal/h) = (U ¿­Àü´Þ°è¼ö, kcal/h/m2/¡É)*(A Àü¿­¸éÀû, m2)*(¡ât ¿ÂµµÂ÷).............................(2)

¿©±â¼­ÀÇ ¿ÂµµÂ÷´Â ÅÊÅ©³»ºÎÀÇ ¿Âµµ¿Í °ø±â¿Âµµ¿ÍÀÇ Â÷ÀÌÀÔ´Ï´Ù. ÅÊÅ©ÀÇ ³»ºÎ ¿Âµµ°¡ °ø±âÀÇ ¿Âµµº¸´Ù ³ô´Ù¸é °ø±â·Î °¡¿­µÉ ¼ö´Â ¾ø°ÚÁö¿ä.  80¡É·Î À¯ÁöµÇ´Â °æ¿ì¿¡´Â 80µµ·Î À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â °¡¿­¿ø¿¡ ÀÇÇØ °¡¿­µÇ±â ¶§¹®¿¡ ±× ¶§ÀÇ Àü¿­ºÎÇÏ´Â (1)½Ä¿¡ ÀÇÇØ °è»êµÈ ·®°ú °°½À´Ï´Ù.

(6) 200torrÀÇ ¾Ð·ÂÀ¸·Î 10 torr·Î À¯ÁöµÇ´Â ¹ÝÀÀ±â¿¡ ÅõÀÔÇÏ·Á¸é ¼Ò·®ÀÇ Á¤·«ÆßÇÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇؼ­ ¾×À» ÆßÇÎÇÏ°í Áõ¹ß½ÃŲ´ÙÀ½ ¾Ð·ÂÀ» 10 torr·Î Á¶ÀýÇÏ´Â °úÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.

(7) °á·ÐÀûÀ¸·Î 80µµ 200 torr·Î À¯ÁöµÇ´Â Tank¿¡¼­ 10torr·Î À¯ÁöµÇ´Â ¹ÝÀÀ±â¿¡ ÅõÀÔÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù¸é º° ¼ö ¾øÀÌ Áø°øÆßÇÁ¸¦ »ç¿ëÇÏ°í À¯·®°èÀ» ÃøÁ¤Çϸ鼭 Á¶Àý ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¼ö ¹Û¿¡ ¾ø½À´Ï´Ù. 
Ȳ¼º·æ È²¼º·æ   39-08-02 00:00
´äº¯ Á¤¸» °¨»çµå¸³´Ï´Ù. LDS(Liquid Delivery System)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Vaporization ½ÃÅ°¸é ¿ë±âÀÇ Å©±â¸¦ °í¹ÎÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ µË´Ï´Ù. ´Ù¸¸ Source°¡ ¸Å¿ì À§ÇèÇÏ°í 100µµ À̻󿡼­´Â ¿­ºÐÇØ°¡ ½ÉÇÏ¿© Á»´õ ¾ÈÀüÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î °¡°íÀÚ °í¹ÎÀ» Çß¾ú½À´Ï´Ù.

ÀÏ´Ü TestÇغÁ¾ß¸¸ ÇÒ°Í °°³×¿ä! ¸¹Àº Âü°í°¡ µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¼ö°íÇϼ¼¿ä~
Stefano Stefano   39-08-02 00:00
ÁÁÀº ¹æ¹ýÀº Liquid Dosing Pump¸¦ »ç¿ëÇÏ°í À̸¦ Áõ¹ß½ÃÅ°´Â °ÍÀ¸·Î º¾´Ï´Ù.  Àú¿Â¿¡¼­ Áõ¹ß ½ÃÅ°°íÀÚÇÏ°í ¶Ç ´Ù¸¥ ¹°Áú(¿¹¸¦µé¾î Áú¼Ò)µîÀÌ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´õµµ ¹®Á¦°¡ ¾ø´Ù¸é ±× ¹°Áú¿¡ ºÐ»ç½ÃÅ°¸é ºÐ¾ÐÀÌ ³·¾Æ ¹ÌÀÀÃà Áõ±â·Î °ø±ÞÇÒ ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶Ç ±× Áõ±â ºÐÀ§±â¿¡¼­ ÃÊÀ½ÆÄ·Î Áõ±â¸¦ ¹ß»ý½ÃÅ°´Â ¹æ¹ýµµ °¡´ÉÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)