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  분해온도와 에너지의 관계
  글쓴이 : critical   고유ID : critical     날짜 : 18-02-19 11:50     조회 : 390    
안녕하세요. 반도체 가스 처리 장치를 연구하고 있습니다.

PFCs 및 Si계열의 가스를 고온에서 처리하는 장비인데

이를 개량하고 최적화 하기 위해서 분해 온도와 에너지에 대해 조사하고 있습니다.

단순한 분자의 가스의 경우 논문이나 문헌에서 찾아보기 쉽지만

실제 처리되는 복잡한 Si전구체 가스 등의 경우는 이를 찾기가 쉽지 않아 질문드립니다.

CxHyOzSi 류의 실제 분해 온도와 분해시 필요한 열량(실제로는 히터 전력)을 유추하는 방법이 있을까요?

스테파노 Stefano   18-02-20 09:57
화학물질의 분해온도는 분자구조내 가장 취약한 결합을 이루고 있는 부분의 화학결합이 끊어지는 온도가 되는데 이를 정확히 예측하는 도구는 없고  대신 유사한 화합물의 분해온도를 참고하거나 직접 실험으로 알아보는 방법 밖에 없을 것으로 봅니다.

분해열은 그 물질을 분해해서 생성되는 물질들이 생성될 때 필요한 엔탈피를 말하는데 합성열과 절대값은 같고 부호만 반대가 될 것입니다.  생성열의 경우 원소상태로부터 생성될 때의 엔탈피 소요량을 말합니다.  분해되어 생성되는 물질이 다시 분해될 수 있는 물질로 남아있는 경우는 그 분해열을 모두 사용한 것은 아닙니다.

열분해열은 생성열과 절대값이 같다고 보고 예측하면 됩니다.    생성열을 모를경우에는 구성원소의 연소열로부터 계산할 수 있습니다

Heat of Decomposition Reaction = Σ(반응물질의 연소열)-Σ(생성물질의 연소열)
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