안녕하십니까.

표제와 같이 포스핀과 디보란 Vent gas의 처리에 대해 문의드립니다.

현재 포스핀은 Burn scrubbing하고있으며, 추가로 디보란의 Vent gas를 Lin-up하여 포스핀과 같이 처리하고자 합니다.

둘 물질을 하나의 Common line으로 연결하여 동시 또는 순차적으로 처리해도 문제 없는지에 대해 검토중인데 관련 자료가 없어 도움을 요청드립니다.

두 물질 모두 인화성 가스이므로 개별 처리시엔 문제가 없을 것 같은데 혹 두 물질간의 화학적 반응이 있을지가 우려됩니다.

실제 두 물질을 하나의 Burn scrubber로 처리하시는 분이 있으신지요?

있으시다면 답글 부탁드립니다.

감사합니다.