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  포스핀(PH3)과 디보란(B2H6)의 배출가스 처리방안 문의
  글쓴이 : 로진   고유ID : bless20     날짜 : 19-07-04 09:32     조회 : 52    
안녕하십니까.
표제와 같이 포스핀과 디보란 Vent gas의 처리에 대해 문의드립니다.
현재 포스핀은 Burn scrubbing하고있으며, 추가로 디보란의 Vent gas를 Lin-up하여 포스핀과 같이 처리하고자 합니다.
둘 물질을 하나의 Common line으로 연결하여 동시 또는 순차적으로 처리해도 문제 없는지에 대해 검토중인데 관련 자료가 없어 도움을 요청드립니다.
두 물질 모두 인화성 가스이므로 개별 처리시엔 문제가 없을 것 같은데 혹 두 물질간의 화학적 반응이 있을지가 우려됩니다.
실제 두 물질을 하나의 Burn scrubber로 처리하시는 분이 있으신지요?
있으시다면 답글 부탁드립니다.

감사합니다.

스테파노 Stefano   19-07-05 20:05
언급한 물질들은 아마 특수 목적의 전자산업에 사용되는 것으로 보입니다.  PH3는 Unpared(미결합) 전자쌍을 가지고 있고 이에 비해 BH3는 Lewis Acid 구조를 가지고 있어서 전자는 알카리 후자는 산으로 작용하기 때문에 기상에서도 쉽게 중합하는 방응이 일어날 것으로 봅니다. 

문헌을 찾아 보니 이 반응은 지극히 최근에 발견된 모양입니다.  B2H6가 쪼개져 반쪽만 반응하고 남기 때문에 이 작용으로 인하여 연쇄반응이 일어난다고 합니다.  따라서 반응속도가 꽤 빠르다고 하므로 농도가 진한 경우라면 아주 위험할 수도 있겠습니다.  농도가 아주 묽을 경우라면 반응이 된다고 해도 반응열을 다른 기체가 흡수할 수 도 있으므로 문제가 되지 않을 수 있습니다.  이들 원료를 제조 및 공급하는 업체에게 문의하는 것이 안전합니다.

찾아본 자료: https://books.google.co.kr/books?id=nyUSBQAAQBAJ&pg=PA269&dq=Kinetics+of+reaction+B2H6+and+PH3&hl=ko&sa=X&ved=0ahUKEwj44tLozZ3jAhUCOrwKHT1HCKIQ6AEIKjAA#v=onepage&q=Kinetics%20of%20reaction%20B2H6%20and%20PH3&f=false
로진 bless20   19-07-08 08:23
스테파노님 안녕하세요. 답변 감사드립니다.

말씀하신 대로 재차 업체에 문의해보도록 하겠습니다.

감사합니다. 좋은 하루 되십시오.
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