ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  MFC Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ È¥ÇÕ°¡½º PPM °è»ê Áú¹®
  ±Û¾´ÀÌ : hongduk   °íÀ¯ID : hjw9156     ³¯Â¥ : 19-08-29 16:19     Á¶È¸ : 4749    
MFC Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© 10~100 PPMÀÇ  Air-NH3 È¥ÇÕ°¡½º¸¦ ¸¸µå·Á°í ÇÕ´Ï´Ù.
¾Ï¸ð´Ï¾Æ ³óµµ 100%ÀÇ °¡½º°¡ 1,000,000 ppm ÀÌ°í, È¥ÇÕ°¡½ºÀÇ PPM ³óµµ¸¦ ¸ÂÃß±â À§ÇØ MFC¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ
´ÜÀ§½Ã°£ À¯·®(SCCM ´ÜÀ§)À» ¼³Á¤ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
  Air        NH3      PPM
 9999         1        10
 9998         2        20
 9997         3        30
 9990        10       100
À§¿Í °°ÀÌ °è»êÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ ¸Â´Â °ÍÀÌÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.

½ºÅ×Æijë Stefano   19-08-30 12:41
(1)°¡½ºÀÇ ³óµµ´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ºÎÇǺÐÀ² (ȤÀº ¸ô ºÐÀ²)·Î ³ªÅ¸³»±â ¶§¹®¿¡ °¢ ¼ººÐÀÇ Mass Flow Meter(MFM)¿¡ ÀÇÇØ °è·®µÇ´Â ¾çµéÀº °¢°¢ÀÇ ºÎÇÇÀ¯·®(ȤÀº ¸ô À¯·®)À¸·Î ȯ»êÇؼ­ °è»êÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

(2) Áú¹®¿¡¼­..
¸¸ÀÏ °ø±â¿Í ¾Ï¸ð´Ï¾Æ °¢ Áú·®À¯·®ÀÌ °¢°¢ÀÇ ºÎÇÇÀ¯·®À¸·Î ȯ»êÇؼ­ ³ªÅ¸³­´Ù¸é ±×µé ºÎÇǸ¦ ±âÁØÀ¸·Î °è»êÇÏ¸é µÇÁö¸¸ ȯ»êµÇÁö ¾Ê°í Áú·®À¯·®À¸·Î ³ªÅ¸³­´Ù¸é À̵éÀ» °¢ ºÐÀÚ·®À¸·Î ³ª´©¾î ¸ôÀ¯·®À¸·Î ȯ»êÇؼ­ °è»êÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù.

Áú¹®¿¡¼­ SCCM (S m^3/h) ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Ù¸é ºÎÇÇ´ÜÀ§À̹ǷΠÀ̸¦ ±×´ë·Î ÀÌ¿ëÇÏ¸é µË´Ï´Ù.

(3) vol ppm (ppmv or vppm)

¼ø¼ö ¾Ï¸ð´Ï¾Æ°¡½º¿Í °ø±â¸¦ °¢°¢  A SCCM,  B SCCM  È帣°í ÀÖÀ»¶§  ¾Ï¸ð´Ï¾ÆÀÇ vol ppm (ppmv) ³óµµ°è»êÀº ´ÙÀ½¼ö½ÄÀ¸·Î °è»êÇÏ¸é µË´Ï´Ù.

ppm NH3  =  A /(A+B) * 1,000,000 ppm ......(1)

¹Ù·Î À§½Ä¿¡¼­  <A /(A+B) > ºÎºÐÀº ºÎÇǺÐÀ²¿¡ ÇØ´çÇÏ°í ¿©±â¿¡ 10^6, Áï 1,000,000ÀÇ ¼ýÀÚ¸¦ °öÇØ¾ß ppm NH3°¡ µË´Ï´Ù.
±×·±µ¥ Áú¹®¿¡¼­ »ç¿ëÇÑ Table¿¡ ÀÇÇÑ NH3 ºÎÇǺÐÀ²Àº °¢°¢  (1/10,000),  (2/10,000), (3/10,000), (10/10,000) ÀÔ´Ï´Ù.  Áú¹®¿¡¼­ °è»êµÈ 10,20,30,100ppmÀ¸·Î ³ªÅ¸³½ °ªµéÀÌ ¾îµð¼­ ºñ·ÔµÇ¾ú´ÂÁö ¾Ë ¼ö ¾øÁö¸¸ ¸ðµÎ Ʋ·ÁÀÖ½À´Ï´Ù. 

¸ôºÐÀ²°ª (1/10,000),  (2/10,000), (3/10,000), (10/10,000) °¢°¢¿¡ 10^6À» °öÇØ¾ß ppmv°¡ °è»êµÇ¹Ç·Î ¸Â´Â °ªµéÀº  100,200,300, 1000 ppmv°¡ µÇ¾î¾ß ÇÏÁö¿ä.  ³óµµ°è»ê¿¡¼­ 10¹èÀÌ Â÷ÀÌ°¡ ³­´Ù´Â °ÍÀº °øÁ¤»ç°í¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù.

(4) Âü°í·Î ..
¸ôºÐÀ² <A /(A+B)>¿¡´Ù 100%¸¦ °öÇϸé m% (ȤÀº v%) °¡ µË´Ï´Ù.  µû¶ó¼­ Áú¹®¿¡¼­ÀÇ 4°³ÀÇ ³óµµ´Â °¢°¢...
0.01, 0.02, 0.03, 0.10 m% ¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù.    m% ´ÜÀ§¸¦ mol ppm(¶Ç´Â ppmv)À¸·Î ȯ»êÇÏ·Á¸é °¢°¢  10,000¹è¾¿ ÇØÁÖ¸é µË´Ï´Ù.  Áï 1 m%´Â 10,000 ppmv¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)