ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼­ ¼ö¼Ò Æø¹ß À§Ç輺
  ±Û¾´ÀÌ : ½á¾ð¹Î   °íÀ¯ID : tjsals9175     ³¯Â¥ : 23-02-08 17:26     Á¶È¸ : 1770    
¾È³çÇϽʴϱî. ¼ö¼Ò Æø¹ß À§Ç輺 °ü·ÃÇؼ­ Áú¹® µå¸³´Ï´Ù.
ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤(ALD-TiN)¿¡¼­ TiCl4, NH3, H2, NF3 µî°ú °°Àº gas¸¦ »ç¿ëÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¼ö¼ÒÀÇ ³óµµ¸¦ LFL ÀÌÇÏ·Î °ü¸®ÇØ ÁÖ¸é Æø¹ßÀÇ À§Ç輺Àº ¾ø´Ù°í »ý°¢µÇ±â´Â ÇÏÁö¸¸..
H2¿Í NF3°¡ ¸¸³µÀ» ¶§³ª ´Ù¸¥ gas¿Í ¸¸³µÀ» ¶§ Æø¹ßÇϰųª ¿¬¼ÒÀÇ À§Ç輺ÀÌ ÀÖ´ÂÁö ¹®ÀÇ µå¸³´Ï´Ù.
NF3´Â Plasma¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© F Radical ÇüÅ·Π°ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
°øÁ¤ Á¶°ÇÀº ¾Æ·¡¿Í °°½À´Ï´Ù.
H2: 10 slm
NF3: 3 slm
NH3: 5 slm
TiCl4: 0.5 slm
°øÁ¤¾Ð·Â: ¾à 1 torr
À§¿Í °°Àº Á¶°Ç¿¡¼­ ¼ö¼Ò Æø¹ßÀ̳ª ¿¬¼ÒÀÇ À§Ç輺ÀÌ ÀÖ³ª¿ä?

½ºÅ×Æijë Stefano   23-02-09 02:52
(1)NF3´Â °­ÇÑ »êÈ­·ÂÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¹Ç·Î ±Ý¼Ó, NH3, H2 µî°ú ¾Æ·¡ÀÇ ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ°ÚÀ¸³ª ½ÇÁ¦·Î ÀÌµé ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Â È°¼ºÈ­ ¿¡³ÊÁö¸¦ °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿Âµµ°¡ ¾ó¸¶ÀÎÁö ÀڷḦ ã¾ÆºÁ¾ß ÇÒ °ÍÀÔ´Ï´Ù.

6M(±Ý¼Ó) + 2NF3 -->N2+ 6MF
NH3 + NF3 ------->N2+ 3HF
3H2+ 2NF3-------->N2 + 6HF
3TiCl4 + 4NF3 ---->2N2 + 3TiF4 + 6Cl2

(2) ÀÌµé ¹ÝÀÀÀÇ ÁøÇà°¡´É¿©ºÎ´Â ¹ÝÀÀ¹°µé°ú »ý¼º¹°µéÀÇ Free Energy¸¦ Á¶»çÇؼ­ »ý¼º¹°ÀÇ Free Energy°¡ ¹ÝÀÀ¹°º¸´Ù ÀÛ¾ÆÁö¸é ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ ¼ö ÀÖÀ½À» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

(3) ¹ÝÀÀÀÌ Æø¹ßÀûÀ¸·Î ÀϾ ¼ö Àִ°¡ÀÇ ¿©ºÎ´Â °¡½ººÐÀÚµéÀÌ Ãæµ¹ÇÏ¿© ¹ÝÀÀÀ» °³½ÃÇÏ°Ô µÇ¸é ÀÌ ¿¡³ÊÁö°¡ ´Ù¸¥ ºÐÀÚ¿¡ Àü´ÞµÇ¾î ¿¬¼â¸¸ÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Â ¿¡³ÊÁö¸¦ ´Ù¸¥ ºÐÀÚ¿¡°Ô Àü´ÞµÉ ¼ö Àִ°¡¸¦ Æò°¡ÇØ ºÁ¾ß ÇÒ °ÍÀ̳ª  ¾Ð·ÂÀÌ ¾ÆÁÖ ³·Àº °æ¿ì ¿¡³ÊÁö ¹Ðµµµµ ³·°í ¸ðµÎ ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å²´Ù°í Çصµ Çصµ  ¹æÃâµÇ´Â ¿¡³ÊÁöµµ Å©Áö ¾Ê¾Æ ¿¬¼â¹ÝÀÀ¿¡ ÀÇÇÑ Æø¹ßÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö°¡  ¾øÀ» °ÍÀÔ´Ï´Ù.

(4) ÇØ´ç °¡½ºµéÀÌ °øÁ¤ÀåÄ¡¿¡¼­ »õ¾î³ª¿Í °ø±âÁß¿¡¼­ Æø¹ß¹üÀ§¿¡ µé¾î°¥ ¼ö ÀÖÀ» Á¤µµÀÇ ³óµµ¿¡ À̸£°Ô µÇ¸é ¾î¶² Á¡È­¿ø¿¡ ÀÇÇؼ­µç ¹Ýµå½Ã Æø¹ßÇÒ À§ÇèÀº µµ»ç¸®°í ÀÖ½À´Ï´Ù.  ÀÌ Á¶°ÇÀº Áú¹®ÀÇ ¿µ¿ª ¹ÛÀÇ »óȲ¿¡ ÇØ´çÇÕ´Ï´Ù.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)