ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  ¸ð³ëŬ·Î·Î½Ç¶õ(SiH3Cl)¿¡ ´ëÇÑ Áú¹®ÀÔ´Ï´Ù.
  ±Û¾´ÀÌ : ¿øº»´ëÁ¶ÇÊ   °íÀ¯ID : kbc1972     ³¯Â¥ : 08-02-19 15:10     Á¶È¸ : 8676    
Àú´Â Mass Flow Controller ¿Í Vaporator SystemÀ» 
¼öÀÔÇؼ­ ÆǸÅÇÏ´Â ÀÏÀ» ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
 
SiH3Cl(Monoclorosilane)¿¡ ´ëÇÑ ÀڷḦ
ãÀ» ¼ö°¡ ¾ø¾î¼­ ÀÌ·¸°Ô Áú¹®À» µå¸³´Ï´Ù.
 
Density
Heat capacity
Viscosity
Thermal conductivity
 
»ó±âÀÇ ÀڷḦ °¡Áö°í °è½Å ºÐ²²¼­´Â
Á¦¹ß µµ¿òÀ» ÁÖ¼¼¿ä.

½ºÅ×Æijë Stefano   08-02-19 19:53
±Û¾´ÀÌ À̸§..
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)