Àú´Â Mass Flow Controller ¿Í Vaporator SystemÀ»
¼öÀÔÇؼ ÆǸÅÇÏ´Â ÀÏÀ» ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
SiH3Cl(Monoclorosilane)¿¡ ´ëÇÑ ÀڷḦ
ãÀ» ¼ö°¡ ¾ø¾î¼ ÀÌ·¸°Ô Áú¹®À» µå¸³´Ï´Ù.
Density
Heat capacity
Viscosity
Thermal conductivity
»ó±âÀÇ ÀڷḦ °¡Áö°í °è½Å ºÐ²²¼´Â
Á¦¹ß µµ¿òÀ» ÁÖ¼¼¿ä.