안녕하세요.

 

반도체용 DCS Gas 실린더 한통을 분당 2L씩 흘릴때 몇시간동안 흘려야 다 떨어지는지 알고 싶어서 질문드립니다.

 

실린더는 40L이고 35kg 충전되어 있습니다. 그리고 DCS는 액상으로 저장되어 있다가 나올때는 45℃로 가열된 라인을 통해 기상으로 변하게 됩니다. 그 후 MFC를 통해 분당 2L씩 흘리게 되는데 이때 얼마동안 흘려야 모두 소모할 수 있는지 시간을 계산하고  싶습니다.

 

답변 꼭좀 부탁드립니다. 감사합니다.