실란 (SiH4)과 삼불화질소(NF3)가 만나면 폭발할 수 있는지 궁금합니다.

 

N2 50lpm정도와 NF3 10lpm이상, SiH4 200sccm이 혼합되어 버너 불꽃에서 만나면 폭발이 가능한지요...

 

SiH4의 경우 파우더도 많이 생기고 폭발성이긴한데 NF3와 만났을때는 어떻게 반응하는지 알고 싶습니다.

 

또 이렇게 반응했을때 생성물은 무엇이 만들어 질까요?

 

SiH4 + NF3 + N2 ---> ?

 

생성물이 SiF계열과 H2, NH3, NH4등이 생성될듯한데 맞는지요...

 

그렇다면 주생성물은 무엇이 될까요???

 

조언 부탁드립니다.