ÀÚµ¿·Î±×ÀÎ
ÄÁÅÙÃ÷ | contents
ÀϹݰԽÃÆÇ
Q&A°Ô½ÃÆÇ
°øÇÐ S/W
½ºÅ͵ð | study
´ÜÀ§È¯»ê
³óµµ°è»ê
ÀϹÝÈ­ÇÐ
È­°øÀϹÝ
È­°ø½Ç¹«

   
  È­ÇйÝÀÀ¿¡ °ü·ÃµÈ Áú¹® ´Ù½Ã µå¸³´Ï´Ù.
  ±Û¾´ÀÌ : Çöâ   °íÀ¯ID : kohc7     ³¯Â¥ : 08-04-19 19:10     Á¶È¸ : 6500    
¾È³çÇϼ¼¿ä...¹Ø¿¡ Áú¹®¿¡ ½Ç¸íÀ¸·Î ´Ù½Ã Á¤Á¤ÇÏ¿© Áú¹®¿Ã¸³´Ï´Ù.
 
 
½Ç¶õ (SiH4)°ú »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3)°¡ ¸¸³ª¸é Æø¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
 
N2 50lpmÁ¤µµ¿Í NF3 10lpmÀÌ»ó, SiH4 200sccmÀÌ È¥ÇÕµÇ¾î ¹ö³Ê ºÒ²É¿¡¼­ ¸¸³ª¸é Æø¹ßÀÌ °¡´ÉÇÑÁö¿ä...
 
SiH4ÀÇ °æ¿ì ÆÄ¿ì´õµµ ¸¹ÀÌ »ý±â°í Æø¹ß¼ºÀ̱äÇѵ¥ NF3¿Í ¸¸³µÀ»¶§´Â ¾î¶»°Ô ¹ÝÀÀÇÏ´ÂÁö ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù.
 
¶Ç ÀÌ·¸°Ô ¹ÝÀÀÇßÀ»¶§ »ý¼º¹°Àº ¹«¾ùÀÌ ¸¸µé¾î Áú±î¿ä?
 
SiH4 + NF3 + N2 ---> ?
 
»ý¼º¹°ÀÌ SiF°è¿­°ú H2, NH3, NH4µîÀÌ »ý¼ºµÉµíÇѵ¥ ¸Â´ÂÁö¿ä...
 
±×·¸´Ù¸é ÁÖ»ý¼º¹°Àº ¹«¾ùÀÌ µÉ±î¿ä???
 
Á¶¾ð ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.

½ºÅ×Æijë Stefano   08-04-19 20:51
(0) Áú¹® ½Ã °íÀ¯º°¸í(ID)¸¦ ¿äûÇÑ °ÍÀº ¾ß»ýµ¿¹°(¿Ü±¹ÀÇ ÀÎÅͳݿ¡¼­´Â ÀÌ·¸°Ô ±æµé¿©ÁöÁö ¾ÊÀº "wild animal"À̶ó°í Ç¥ÇöÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ¸¹½À´Ï´Ù.)ÀÇ Ãâ¸ôÀ» ¹æÁöÇϱâ À§ÇÔÀÔ´Ï´Ù.  ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.  ÀÌ°÷Àº ³×À̹öÀÇ Áö½ÄÀΰú°°ÀÌ ¿î¿µµÇ´Â °÷ÀÌ ¾Æ´Õ´Ï´Ù.   

¶Ç Áú¹®½Ã ºÒÇÊ¿äÇÑ ÁٹٲÞÀº ÀÎÅÍ³Ý ÀÚ¿øÀÇ ³¶ºñÀÏ »Ó ¾Æ´Ï¶ó ÇÑ´«¿¡ Àß µé¾î¿ÀÁöµµ ¾Ê½À´Ï´Ù.  ²À ÇÊ¿äÇÑ °÷¿¡¼­¸¸ ÁٹٲÞÇÏ´Â °ÍÀ» ±ÇÇÕ´Ï´Ù.  Áú¹®½Ã Áú¹® ¹è°æÀ» ¾ð±ÞÇϸé Áú¹®ÀÚÀÇ °æÇè¼öÁØ, ÇзÂÀ» ÁüÀÛÇÒ ¼ö À־ ´äº¯ ½Ã Âü°íÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.  ±×·¸Áö ¾ÊÀ¸¸é ¹ÌÁÖ¾Ë °íÁÖ¾Ë ¸ðµÎ ´ã¾Æ³»°Å³ª Áú¹® ´äº¯ÀÌ Áö±ØÈ÷ ¼ÒȦÇØ Áú ¼ö°¡ ÀÖ´ä´Ï´Ù.  Âü°íÇϼ¼¿ä. 

(1) »ê¼Ò°¡ ¾øÀÌ Áú¼ÒºÐÀ§±â¿¡¼­¶ó¸é (Áú¼Ò´Â ¹ÝÀÀ¿¡ Âü¿©ÇÏÁö ¾ÊÀ» °ÍÀ¸·Î º½) °í¿Â¿¡¼­
SiH4+ 4/3NF3-------->SiF4 + 4/3 NH3..................(1)....SiF4 »ý¼º¹ÝÀÀ
SiH4--------------------->Si    + 2H2........................(2)....SiH4 ºÐÇعÝÀÀ
SiH4+ 4/3NF3-------->Si    + 4HF + 2N2...............(3)....SiH4 ºÐÇØ ¹× HF »ý¼º¹ÝÀÀ
2NF3 ------------------->N2  + 3F2.........................(4)....NF3 ºÐÇعÝÀÀ

»ê¼Ò°¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °í¿Â¹ÝÀÀÀ̶ó¸é
SiH4 + 2O2 --------->SiO2  + 2H2O............................(5)....SiH4 ¿¬¼Ò¹ÝÀÀ
2SiH4 + 2NF3 + 4O2-->2SiO2+N2O3 + 6HF+2H2O.....(6)....SiH4¿¬¼Ò ¹× HF»ý¼º¹ÝÀÀ
N2O3 + 6HF-------------> 3F2 + N2 + 3H2O.................(7)....HFÀÇ (N2O3¿¡ ÀÇÇÑ)»êÈ­¹ÝÀÀ
2SiH4+ 2NF3 + 4O2-->2SiO2+3F2+N2+5H2O.............(8)....(6)°ú(7)¹ÝÀÀÀÇ ÇÕ

¿Í °°Àº ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ ¼ö ÀÖ´Ù°í ÃßÁ¤Çϴµ¥,

(2)¹ÝÀÀÀÇ ÁøÇà °¡´É¼º
¸¸ÀÏ À§ÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ ½ÇÁ¦·Î ÀϾ´ÂÁö ±×·¸Áö ¾ÊÀºÁö´Â Free Energy Áõ°¡¿©ºÎ¸¦ °è»êÇØ ºÁ¾ß ÇÒ°ÍÀÔ´Ï´Ù.  Áï, °¢ »ý¼º(¿¹»ó)¹°ÁúÀÇ Free Energy of Formation(FOF)ÀÇ ÇÕ¿¡¼­ ¹ÝÀÀ(¿¹»ó)¹°ÁúÀÇ FOFÀÇ ÇÕÀ» »« Free Energy Áõ°¨ÀÌ À½¼ö¶ó°í ÇÑ´Ù¸é ¹ÝÀÀÀÌ ½ÇÁ¦·Î ÀϾ´Ï´Ù.  ¹ÝÀÀÀº FOF°¡ °¨¼ÒÇÏ´Â ¹ÝÀÀÀ¸·Î ÁøÇàµÇ±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù.  ÀÌ´Â ¿­ÀÌ ³ôÀº ¿Âµµ¿¡¼­ ³·Àº ¿Âµµ·Î Èê·¯°¡´Â °Í°ú °°Àº ÀÚ¿¬¿ø¸®ÀÔ´Ï´Ù.

±×·¸´Ù°í Çؼ­ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ´Â ¼Óµµ¸¦ ¾Ë ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀº ¾Æ´Õ´Ï´Ù. 
(Áï ¼ø½Ä°£¿¡ ¹ÝÀÀÇÏ¿© Æø¹ßÀÌ ÀϾ´ÂÁö´Â ¾Ë ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. )

(3) °í¿Â Çö󽺸¶ »óŶó¸é..
±×·¸Áö¸¸ ¹ÝÀÀ¹°ÁúÀÌ °í¿ÂÀÇ Çö󽺸¶ »óÅ¿¡ ³õÀδٰí Çϸé ÃæºÐÈ÷ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ ¼ö ÀÖµµ·Ï È°¼ºÈ­°¡ µÇ¾îÀֱ⠶§¹®¿¡ Á¤µµÀÇ Â÷ÀÌÁö¸¸ À§ÀÇ (6)°³ÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù°í º¾´Ï´Ù.  ¹°·Ð »ê¼Ò°¡ ¾øÀ¸¸é  (1)~(4)ÀÇ ¹ÝÀÀ½Ä¸¸ Á¡°ËÇØ º¸¸é µË´Ï´Ù.  ±×·¯³ª ÀÚ¿¬Çö»óÀ̳ª ¹ÝÀÀÀÌ ÀüüÀûÀÎ È帧ÀÌ ±×·¸´Ù´Â °ÍÀÌÁö ¾ÆÁÖ ¹Ì·®ÀÌ¶óµµ ÀÌ·± ¹ÝÀÀÀÌ Æ÷Ç﵃ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Í¿¡ À¯³äÇϼ¼¿ä.

(4) ÇÊÀÚÀÇ ¼Ò°ß
ÀÚ·á°¡ ¾ø¾î¼­ ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö°¡ ¾øÁö¸¸  Á¤¼ºÀûÀ¸·Î ÇÊÀÚ(È­ÇÐÀÌ ¾Æ´Ï°í È­°øÀü°øÀÚ)ÀÇ ¼Ò°ßÀ¸·Î ÆÇ´ÜÇϸé (1)ÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ ÁÖ·Î ÀϾ °ÍÀÌ°í ±ØÈ÷ ÀϺÎ(2~4)¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ °ÍÀ¸·Î º¾´Ï´Ù.  »ê¼Ò°¡ ÀÖ´Â °æ¿ì¶ó¸é (5),(8)ÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ ÁÖ·Î ÀϾ °ÍÀ¸·Î º¾´Ï´Ù. 

(5) Æø¹ß °¡´É¼º??
Æø¹ßÀº ¸ð¿©ÀÖ´ø ¹ÝÀÀ¹°ÁúÀÌ ¼ø½Ä°£¿¡ ¹ÝÀÀÇÏ¿© Å©°Ô ºÎÇÇ°¡ ´Ã¾î³ª ÁÖº¯¿¡ ¾Ð·Â Ãæ°ÝÀ» ÁÖ´Â Çö»óÀÔ´Ï´Ù. 
¸¸ÀÏ º°µµ·Î ¹ÝÀÀ¹°µéÀÌ ¹ö³Ê¿¡ °ø±ÞµÇÀÚ¸¶ÀÚ ¼Ò¸ðµÈ´Ù¸é ¹ö³Ê³¡¿¡¼­ ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ¿¬¼Ò³ª ¹ÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å°°Ô µÉ °ÍÀ̹ǷΠºÒ²ÉÀÌ ²¨Áö´Â °Í¸¸ ¹æÁöÇϸé Å©°Ô ¿ì·ÁÇÒ ÀÏÀº ¾Æ´Õ´Ï´Ù. 

(6) ½ÇÇèÀ¸·Î È®ÀÎ
ÀÌ¹Ì ºÒ²ÉÀÌ ÀÖ´Â ¹ö³Ê¿¡ À§ÀÇ ¹°ÁúµéÀ» ºÐ¸®Çؼ­ °ø±ÞÇؼ­ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ´ÂÁö È®ÀÎ ÇØ º¸°í ±× »ý¼º¹°À» ºÐ¼®ÇØ º¸¸é µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù.  ¾ÈÀüÀ¯Áö´Â Ç×»óÇÊ¿äÇϹǷΠ¹Ýµå½Ã ÁÖÀ§¿¡¼­ °æÇèÀÚÀÇ µµ¿òÀ» ¹Þµµ·Ï Çϼ¼¿ä.
Çöâ    08-04-19 21:40
°¨»çÇÕ´Ï´Ù. Á¤¸» ±ÞÇߴµ¥ ¸¹Àº µµ¿òÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
¾ÕÀ¸·Î °íÀ¯º°¸í ¹× ÁٹٲÞ, Áú¹®¹ý µî¿¡ ´ëÇÏ¿© ¸»¾¸ÇϽŴë·Î ¿Ã¸®µµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
   

Copyright 1999.07.10-Now ChemEng.co.kr & 3D System Engineering. (mail : ykjang@naver.com, call 010-4456-8090)