¾È³çÇϼ¼¿ä...¹Ø¿¡ Áú¹®¿¡ ½Ç¸íÀ¸·Î ´Ù½Ã Á¤Á¤ÇÏ¿© Áú¹®¿Ã¸³´Ï´Ù.
½Ç¶õ (SiH4)°ú »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)°¡ ¸¸³ª¸é Æø¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
N2 50lpmÁ¤µµ¿Í NF3 10lpmÀÌ»ó, SiH4 200sccmÀÌ È¥ÇÕµÇ¾î ¹ö³Ê ºÒ²É¿¡¼ ¸¸³ª¸é Æø¹ßÀÌ °¡´ÉÇÑÁö¿ä...
SiH4ÀÇ °æ¿ì ÆÄ¿ì´õµµ ¸¹ÀÌ »ý±â°í Æø¹ß¼ºÀ̱äÇѵ¥ NF3¿Í ¸¸³µÀ»¶§´Â ¾î¶»°Ô ¹ÝÀÀÇÏ´ÂÁö ¾Ë°í ½Í½À´Ï´Ù.
¶Ç ÀÌ·¸°Ô ¹ÝÀÀÇßÀ»¶§ »ý¼º¹°Àº ¹«¾ùÀÌ ¸¸µé¾î Áú±î¿ä?
SiH4 + NF3 + N2 ---> ?
»ý¼º¹°ÀÌ SiF°è¿°ú H2, NH3, NH4µîÀÌ »ý¼ºµÉµíÇѵ¥ ¸Â´ÂÁö¿ä...
±×·¸´Ù¸é ÁÖ»ý¼º¹°Àº ¹«¾ùÀÌ µÉ±î¿ä???
Á¶¾ð ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.