안녕하세요. NF3 Plasma Cleaning 공정시 발열하여 Tank 내 온도 상승 이유가 궁금하여 글을 올립니다.

 

NF3가 이온화 되어  
2NF3 --------------->N2  + 3F2 되는걸 알 수 있습니다.

Chamber내에 있는 잔류 Gas와 F- 이온이 반응하여 발열한것으로 보입니다.

예상되는 합성가스로는 SiF4, SiH4, Leak로 인한 Air 유입으로 인한 OF2, COF2가 있을거라 예상됩니다.

wet tank에서 온도가 기존 30~40도에서 80도로 상승 되는 이유가 정말 궁금합니다. 물과 만나서 어떻게 발열하는지 궁금.

 

NF3의 유량 증가로 인한 온도 상승의 원인도 있습니다. 어느 물질이 발열하여 온도를 높이는지 긍금합니다.

이온화 시키는 Plasma외에 열로 분해나는 것에서의 온도변화는 크지 않은데 plasma 이용시 Tank온도 상승 궁금합니다.

 

NF3 유량의 증가로 인한 불꽃 색깔이 다른것을 알 수 있었습니다.

 

두서없이 글을 올려 죄송합니다.

궁금한 이유를 꼭 알고 싶습니다.

 

발열반응하여 온도의 상승이유를 알면 발열시 나오는 엔탈피(에너지)와 칼로리도 좀 알고 싶습니다.

 

감사합니다